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超臨界流体の基礎と半導体プロセスへの応用

超臨界流体の基礎と半導体プロセスへの応用

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視聴期間は2024年2月28日〜3月13日を予定しております。
お申し込みは2024年3月11日まで承ります。

概要

本セミナーでは、超臨界流体について取り上げ、超臨界流体をマイクロ材料加工・表面処理プロセスに活用するポイントについて詳解いたします。

配信期間

  • 2024年3月11日(月) 10時30分 ～ 2024年3月13日(水) 16時30分

お申し込みの締切日

  • 2024年3月11日(月) 10時30分

受講対象者

  • 半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体材料 (ガス、薬品、化成品) メーカーのエンジニアや研究者
  • 超臨界流体実験を始めたい研究者
  • めっき、ドライ薄膜加工業界のエンジニアや研究者
  • 新規プロセス、代替プロセスで超臨界流体利用を考えているエンジニア、研究者

修得知識

  • 超臨界二酸化炭素流体の物理と化学
  • 超臨界二酸化炭素流体の利用分野・応用に関する知識
  • 気体、液体、超臨界流体の差異
  • プロセス利用、装置考案の勘所

プログラム

　超臨界流体とは、物質が高圧で気体とも液体ともつかなくなった状態のことで、表面張力がゼロで、高い拡散性と密度を併せ持ち、溶媒として振る舞う不思議な性質を持っています。超臨界流体、特に超臨界二酸化炭素はコーヒーからのカフェイン抽出などにすでに実用化されており工業的に有用な技術です。半導体やMEMSなどのマイクロプロセスや表面処理プロセスでは、従来の真空プロセスやめっきプロセスにはみられない微細加工性を実現できることから利用が着目されています。また、大量の廃液を排出しない低環境負荷型プロセスとしても大いに期待されています。
　超臨界流体に関するこれまでのセミナーでは化学分野における研究興味を出発としたシーズ転展開形の内容が多かったように思います。これに対し本講では、マイクロ材料加工・表面処理プロセスになぜ超臨界流体が適しているかの観点から超臨界流体の性質を解説し、応用例を示すというニーズ志向の切り口で企画しました。

  1. 超臨界流体の基礎とマイクロプロセス
    1. 物質の三態と超臨界流体
    2. 超臨界CO2流体の性質と様々の超臨界流体
    3. 流体物性の観点からのマイクロプロセスにおける超臨界CO2のメリット
      • 乾燥
      • 洗浄
      • 薄膜堆積
  2. 超臨界流体を用いた薄膜堆積
    1. めっき前処理
    2. 電解めっき
    3. 無電解めっき
    4. 電気めっき
    5. 化学的薄膜堆積
  3. 多孔質薄膜と細孔エンジニアリング
    1. 低誘電率薄膜と多孔質化
    2. 多孔質薄膜の作製
    3. 細孔形成・改質・洗浄と超臨界流体利用メリット
  4. 超臨界流体を用いた乾燥・エッチング・洗浄技術
    1. 超臨界流体を用いた半導体洗浄への適用
    2. 超臨界乾燥の原理と応用
    3. エッチング
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主催

株式会社 R&D支援センター
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 52,500円 (税別) / 57,750円 (税込)
複数名
: 27,500円 (税別) / 30,250円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。

「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 47,500円(税別) / 52,250円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 26,250円(税別) / 28,875円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 47,500円(税別) / 52,250円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 52,500円(税別) / 57,750円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 78,750円(税別) / 86,625円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 52,500円(税別) / 57,750円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 105,000円(税別) / 115,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 157,500円(税別) / 173,250円(税込)

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  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2024年2月28日〜3月13日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は別途、送付いたします。
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