技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
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複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/8/19 | 接触角測定の注意点と表面自由エネルギー解析への応用 | オンライン | |
| 2025/8/20 | コーティングプロセスにおける界面化学とレオロジー解析 | オンライン | |
| 2025/8/25 | Roll To Roll製造と各工程における要素技術の実践 | オンライン | |
| 2025/8/25 | プラズマプロセスにおける活性粒子の計測、モニタリングとプロセスの最適化 | オンライン | |
| 2025/8/26 | コーティングプロセスにおける縦スジ・横段・点欠陥と対策 | オンライン | |
| 2025/8/26 | タンパク質の吸着特性とその評価 | オンライン | |
| 2025/8/26 | 粉体塗装の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/8/27 | 塗料・塗膜 (塗装系) の基礎と塗装欠陥 (発生メカニズムと対策、評価技術) | 東京都 | 会場 |
| 2025/8/27 | ゾル-ゲル法の基礎と高機能性材料設計への応用・新展開 | オンライン | |
| 2025/9/3 | シリカの分散・凝集制御とフィラーとして使いこなす活用術 | オンライン | |
| 2025/9/3 | プラズマプロセスにおける活性粒子の計測、モニタリングとプロセスの最適化 | オンライン | |
| 2025/9/4 | スパッタ・真空蒸着による成膜技術と膜質改善技術の徹底解説 | オンライン | |
| 2025/9/4 | コーティングプロセスにおける縦スジ・横段・点欠陥と対策 | オンライン | |
| 2025/9/5 | スパッタ・真空蒸着による成膜技術と膜質改善技術の徹底解説 | オンライン | |
| 2025/9/5 | 真空成膜技術・装置の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング | オンライン | |
| 2025/9/5 | シリカの分散・凝集制御とフィラーとして使いこなす活用術 | オンライン | |
| 2025/9/9 | 自己組織化単分子膜 (SAM) の基礎と評価・分析手法およびその応用技術 | オンライン | |
| 2025/9/10 | 各種機能性ハードコートの材料、塗布製膜、耐候・耐久・密着性評価 | オンライン | |
| 2025/9/10 | Roll To Roll製造と各工程における要素技術の実践 | オンライン | |
| 2025/9/10 | 自己組織化単分子膜 (SAM) の基礎と評価・分析手法およびその応用技術 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/6/30 | ウェブハンドリング、Roll to Rollを利用した生産技術とトラブル対策 |
| 2025/5/26 | 表面プラズモン技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (書籍版) |
| 2025/5/26 | 表面プラズモン技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2025/4/30 | 非フッ素系撥水・撥油技術の開発動向と性能評価 |
| 2025/4/21 | 塗料技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2025/4/21 | 塗料技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (書籍版) |
| 2024/8/30 | 塗工液の調製、安定化とコーティング技術 |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
| 2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
| 2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 ＋ ebook版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
| 2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |