技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、注目されるALD法 (原子層堆積法) について、基礎から解説いたします。
ALDにまつわる問題と対策方法、低温ALD、今後の発展が期待されるALE ( Atomic Layer Eching ) についても解説いたします。
ALD (Atomic Layer Deposition) 技術の基礎とALDの原料として用いられる有機金属化合物の一般的特徴、ALD用原料としての揮発可能な原料の開発指針、多種原料の特徴とどれがALDに適しているかを解説する。また、原料の揮発・輸送手段の例とそれぞれの問題点をあげ、その対策法を具体的に紹介する。さらに現在、注目を集めている遷移金属薄膜のALD原料・成膜、ならびに近年盛んになった低温ALDについても触れる。最後に今後の発展が期待されるALE (Atomic Layer Eching) について、ALDの逆工程の応用についても提案する。
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2024/5/14 | 真空技術の基本と機器の運用・問題解決のコツ | オンライン | |
2024/5/22 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/5/27 | スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策 | オンライン | |
2024/5/31 | Tダイ成形機の基礎とフィルム成形トラブル対策 | 東京都 | 会場 |
2024/6/4 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/6/6 | スパッタリングの基本と考え方、膜の作り方、その応用 | オンライン | |
2024/6/11 | ALD (原子層堆積) / ALE (原子層エッチング) 技術の基礎と応用 | オンライン | |
2024/6/24 | ALD (原子層堆積) / ALE (原子層エッチング) 技術の基礎と応用 | オンライン | |
2024/6/25 | 界面・表面、応力影響、剥離・破壊の基本知識と密着性の改善技術と評価方法 | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/6/25 | 分子プレカーサー法による機能性薄膜の形成と応用事例 | オンライン | |
2024/6/27 | 基材への塗布層の形成・コーティング技術、乾燥と欠陥・故障対策および機能性付与 | オンライン | |
2024/6/28 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/6/28 | 高機能フィルムの製造技術とその工程 | オンライン | |
2024/6/28 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2024/7/3 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2024/7/11 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/7/12 | 高屈折率材料の分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
2024/7/12 | 高機能フィルムの製造技術とその工程 | オンライン | |
2024/7/24 | 高屈折率材料の分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
2024/7/25 | 基礎から理解するポリイミドの高性能化・機能化設計 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |