技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、原子層堆積 (ALD) 法の原理・特徴・装置等の基礎から、薄膜の特性評価、用いられる材料群、成膜条件・注意点、エネルギーデバイス作製や各種材料の表面改質への応用、新しい成膜材料やプラズマ技術を用いた成膜等の最近のALD技術までを詳解いたします。
原子層堆積 (ALD) 法はその名前の通りに、原子1層レベルの厚みで膜厚を制御しながら薄膜を作製する技術として注目されています。一方で、どういった材料が成膜可能か、どのようなデバイスへの成膜が可能かを理解するためにはその原理を理解しておくことが重要です。
本セミナーでは原子層堆積法の基本的な原理、どのような装置で実現可能かといった技術的を説明すると共に、一般的に用いられる真空蒸着等の薄膜形成技術との異なる部分にも注目し、技術の有効性について説明を行います。また、エネルギーデバイスへの応用やソフトマテリアルなどへの適用などのアプリケーションに関する説明、新しい成膜材料やプラズマ技術を用いた成膜等の最近のALD技術のトレンドを紹介いたします。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/1/8 | エポキシ樹脂のフィルム化と接着性の向上、分析・評価 | オンライン | |
| 2026/1/16 | 基材への塗布層の形成、コーティング液の塗布技術 | オンライン | |
| 2026/1/21 | フィルム製造における製膜/成形技術とスリット・巻取り技術の基礎と実際 | オンライン | |
| 2026/1/22 | CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開 | オンライン | |
| 2026/1/23 | CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開 | オンライン | |
| 2026/1/26 | 国内外におけるRoll To Rollの研究・技術動向の最新情報 | オンライン | |
| 2026/1/27 | ALE (アトミック レイヤー エッチング) 技術の基本原理と開発事例および最新動向 | オンライン | |
| 2026/1/30 | 高屈折率ポリマーの分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
| 2026/2/2 | 基材への塗布層の形成、コーティング液の塗布技術 | オンライン | |
| 2026/2/5 | フィルム製造における製膜/成形技術とスリット・巻取り技術の基礎と実際 | オンライン | |
| 2026/2/6 | 半導体・電子デバイス製造における真空および薄膜形成・加工技術 | オンライン | |
| 2026/2/12 | 国内外におけるRoll To Rollの研究・技術動向の最新情報 | オンライン | |
| 2026/2/13 | 半導体製造プロセスにおけるドライエッチングの基礎・最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/2/13 | ALD原料設計と成膜プロセスの基礎・実践 | オンライン | |
| 2026/2/16 | 半導体製造プロセスにおけるドライエッチングの基礎・最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/2/16 | ALD原料設計と成膜プロセスの基礎・実践 | オンライン | |
| 2026/3/2 | ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/3/6 | 測定・評価技術から取り組む薄膜の剥離・密着性の改善と制御 | オンライン | |
| 2026/3/9 | ALD (原子層堆積法) の基礎とプロセス最適化および最新技術動向 | 東京都 | 会場 |
| 2026/3/11 | スパッタ・蒸着・CVDによる薄膜形成技術の基礎とトラブル対策 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/6/30 | ウェブハンドリング、Roll to Rollを利用した生産技術とトラブル対策 |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |