技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、原子層堆積 (ALD) 法の原理・特徴・装置等の基礎から、薄膜の特性評価、用いられる材料群、成膜条件・注意点、エネルギーデバイス作製や各種材料の表面改質への応用、新しい成膜材料やプラズマ技術を用いた成膜等の最近のALD技術までを詳解いたします。
原子層堆積 (ALD) 法はその名前の通りに、原子1層レベルの厚みで膜厚を制御しながら薄膜を作製する技術として注目されています。一方で、どういった材料が成膜可能か、どのようなデバイスへの成膜が可能かを理解するためにはその原理を理解しておくことが重要です。
本セミナーでは原子層堆積法の基本的な原理、どのような装置で実現可能かといった技術的を説明すると共に、一般的に用いられる真空蒸着等の薄膜形成技術との異なる部分にも注目し、技術の有効性について説明を行います。また、エネルギーデバイスへの応用やソフトマテリアルなどへの適用などのアプリケーションに関する説明、新しい成膜材料やプラズマ技術を用いた成膜等の最近のALD技術のトレンドを紹介いたします。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/5/14 | ウェブ搬送・巻取の理論と張力制御・トラブル対策の実践技術 | オンライン | |
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| 2026/5/20 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
| 2026/5/29 | 半導体ドライプロセス入門 | オンライン | |
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| 2026/6/8 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
| 2026/6/17 | 半導体プラズマにおける診断・モニタリングと制御技術 | オンライン | |
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| 2026/6/29 | ALDの基礎と原料の分子設計、成膜プロセス、最新トレンド | オンライン | |
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| 2026/7/8 | CVD/ALDプロセスの反応メカニズムとプロセス最適化 | オンライン | |
| 2026/7/8 | スパッタリングの基本と考え方、膜の作り方、その応用 | オンライン | |
| 2026/7/14 | 薄膜作製の基礎 | オンライン | |
| 2026/7/14 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
| 2026/7/15 | 高屈折率材料の分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/6/30 | ウェブハンドリング、Roll to Rollを利用した生産技術とトラブル対策 |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |