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半導体製造における洗浄方法と装置の理解と課題、そして解決法

Zoomを使ったライブ配信セミナー

半導体製造における洗浄方法と装置の理解と課題、そして解決法

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、半導体製造における枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れについて可視化観察例等を流れの特徴と問題点を考察を踏まえながら解説いたします。

開催日

  • 2021年1月20日(水) 12時30分 16時30分

受講対象者

  • 半導体洗浄技術を構成している要素・要点を知りたい技術者
  • 半導体洗浄技術の課題を理解しているが、その解決方法を模索している技術者

修得知識

  • 半導体洗浄に関わる知識と手法、洗浄時間と効果の向上
    • 化学工学の基礎 (工業生産プロセスの主要要素を成す流れ・熱・拡散などの考え方)
    • 流れの実感 (簡易可視化実験 (実演) )
    • 液体の流れを見抜いて使う考え方
    • 流れの改善により工程短縮、品質向上、などを進める方法
    • プロセスの限界を見極め、それを乗り越えるための考え方

プログラム

 半導体洗浄に関わる基礎知識と手法について解説します。湿式の洗浄は、汚れを (1) 薬液や超音波などにより表面から引き剥がし、 (2) 「流れ」により運び去ること、によって行われます。即ち、洗浄の主要素の一つは、「流体 (液体) の動き」です。流れは難解に思われがちですが、流れを正面から捉えて、方法の理解、課題の発見、解明、解決と改善に結びつける方法を知れば、その効果は著しいはずです。
 そこで本セミナーでは、予備知識として流れを含む「移動する現象」の基礎事項と法則から説明します。そして、流れの可視化実験の実演を通して、流れの見方を説明し、容器内の流れの様子を説明します。次に、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れ、超音波を加えた時の流れについて可視化観察例と計算例を紹介し、流れの特徴と問題点を考察します。特に、実際の水の動き、その水流のもとで進行する化学反応、理想的な水の動きとは何か、それを簡便に創り出す方法、そして、困った時の考え方について詳述します。

  1. 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?
  2. 一般の洗浄
    • 洗浄の4要素
      • 温度
      • 時間
      • 化学
      • 力学
  3. 半導体の洗浄に特有のこと
  4. 先端技術情報 (半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)
  5. 半導体洗浄の基礎現象 (化学工学)
    1. 表面
      • 付着
      • 脱離
      • 引き剥がす
    2. 流れ、熱、拡散、反応、境界層
      1. 半導体洗浄の要素を成す基礎現象
        • 流れ
        • 拡散
      2. 基礎現象の法則
    3. 装置内流れの種類
  6. 「流れ」の感覚を掴む
    1. 流れの可視化実験 (実演+映像)
    2. 流れの種類
      • 循環流れ
      • 一方向流れ
  7. 枚葉式洗浄機の流れと反応
    1. 流れの可視化観察方法と例
    2. 流れの計算
    3. 表面反応の解析例
  8. バッチ式洗浄機の流れ
    1. 流れの可視化観察方法と例
    2. ノズル設計の視点
    3. 排出設計の視点
    4. 検証方法
  9. 超音波洗浄
    1. 超音波の効果と役割
    2. 超音波の影響:水流
    3. 超音波の影響:気泡
  10. まとめ:課題解決の要点
    • 困った時には境界層を壊せ

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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