技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、半導体製造における枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れについて可視化観察例等を流れの特徴と問題点を考察を踏まえながら解説いたします。
～流れの可視化観察事例をもとに～
(10:00～12:30)
半導体製造における湿式洗浄方法には、主に、枚葉式 (一枚ずつ) とバッチ式 (複数枚一括) があります。これらの装置の中には水・薬液が流れ、そこに超音波を重ねることがあります。その基本に立ち返ると、 (1) 流れ、薬液と超音波などにより汚れを表面から引き離すこと、 (2) 離れた汚れを流れに乗せて運び去ること、に分けられます。そこで、その両方に大切な役割を担っている「流れ」について理解し、洗浄装置の理解と活用・改善について考えます。
流れについては、身近な現象を参考にして感覚的につかんで行くと実務的です。そして、洗浄機の流れを動画資料をもとに理解し、課題の発見、解明、解決と改善に結びつけると、その効果は明らかです。そこで本セミナーでは、流れを含む「移動する現象」の基礎事項と法則を紹介し、装置の中の流れを可視化観察した動画を通して、流れの感覚をつかんで行きます。具体的には、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れ、超音波を加えた時の流れと気泡の動きについて特徴と問題点を考察します。そして、理想的な水の動きとは何かを考え、それを創り出す方法を可視化観察動画と計算例により紹介します。まとめでは、困った時の考え方に触れる予定です。
(13:30～16:00)
半導体製造において、各種汚染は歩留低下を引き起こす。序論として汚染が半導体デバイスにおよぼす影響を示します。それを踏まえて、半導体洗浄に関して説明します。従来の洗浄から最近の洗浄、目的別洗浄について詳細を説明します。洗浄以外の汚染制御技術に関して紹介します。最後に次世代の汚染制御の問題点と洗浄乾燥技術について解説します。洗浄技術は半導体デバイスの品質の向上のために必要です。洗浄の意義を一緒に考えましょう。
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