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プラズマエッチングの基礎から昨今の技術課題とプラズマ最適化設計について
プラズマエッチングの基礎から昨今の技術課題とプラズマ最適化設計について
～プラズマエッチングに関する現在ならびに将来の課題 / プラズマダメージ最適化に関するノウハウについて～
東京都 開催
会場 開催
本セミナーは終了いたしました。
概要
本セミナーでは、プラズマエッチングについて基礎から解説いたします。
歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージの制御のために必要な知識を網羅的に解説いたします。
開催日
- 2019年4月19日(金) 12時30分 ～ 16時30分
受講対象者
- 大学や企業でプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方
- 企業でプラズマプロセス設計に従事されている方
- 大学や企業でデバイス信頼性評価に従事されている方
- プラズマとデバイスとの相互作用に関する研究に従事されている方
修得知識
- プラズマプロセス工学の基礎知識
- プラズマエッチングに関する現在ならびに将来の課題
- プラズマダメージ最適化に関するノウハウ
- プラズマプロセスシミュレーションの基礎知識
プログラム
現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマエッチングは重要な役割を担っている。プラズマエッチングの基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題を把握することは困難である。
本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージを中心にとりあげ、プラズマエッチング現場での課題とその解決の方向性について議論する。
- プラズマとは
- プラズマ技術の産業応用例
- プラズマを理解するためのパラメータ
- プラズマエッチングとは
- 超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割
- 超微細加工の基本メカニズム:反応性イオンエッチングとは
- 最先端プラズマエッチングにおける技術課題について
- 加工形状異常に代表される課題とそのメカニズム
- 昨今の最重要課題～プラズマ誘起ダメージ
- プラズマ誘起ダメージ対策の歴史
- 最先端プロセス性能を決めるプラズマ誘起ダメージについて
- 3つのダメージ発生機構
- プラズマ誘起ダメージによる歩留まり低下
- プラズマ誘起ダメージによる信頼性劣化
- デバイス構造3次元化における新たな課題
- わかっていること・わかっていないこと
- シミュレーションからプラズマ誘起ダメージを設計する
- 今後の展望
- 今後も必要不可欠なプラズマエッチング
- プラズマ誘起ダメージを踏まえた今後のプロセス最適化設計とは
- 我々は何を明らかにし、何に取り組むべきか
- 質疑応答
会場
主催
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。
受講料
1名様
:
46,278円 (税別) / 49,980円 (税込)
案内割引・複数名同時申込割引について
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。
- R&D支援センターからの案内を希望する方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)
- R&D支援センターからの案内を希望しない方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)
本セミナーは終了いたしました。
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