技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

プラズマエッチングの基礎と実際

プラズマエッチングの基礎と実際

～装置・プロセス構築・反応機構・計測・評価～
東京都 開催 会場 開催
関連するセミナー・出版物
本セミナーは終了いたしました。
セミナーの再開催を依頼する 関連するセミナー・出版物を探す

概要

本セミナーでは、エッチングプロセス技術の基本からプラズマエッチング装置技術、プラズマ分析技術、表面分析技術、プロセスの構築方法など詳解いたします。

開催日

  • 2012年11月22日(木) 10時30分 ～ 16時30分

修得知識

  • プラズマ科学の基礎
  • 反応性プラズマを使用したエッチングプロセス技術の基本
  • プラズマ及びプラズマエッチング装置技術
  • プラズマ分析技術
  • 表面分析技術
  • プロセスの構築方法

プログラム

　プラズマエッチング技術に関わる、プラズマ生成、計測、装置技術、表面分析技術および各材料に対するプロセス技術の基本的な概念、知識と、実際に本技術に携わる場合にどのようにプロセスを構築していくか 等を初心者にもわかりやすく解説する。質疑を通して、個別の相談にも応じる。

  1. はじめに
    1. 背景‐半導体産業の進展
    2. エッチング技術とは
    3. 技術分類と基礎概念・用語
  2. プラズマエッチングの基礎
    1. プラズマ生成の基礎
    2. エッチング反応
    3. 方向性加工の機構
  3. エッチング装置技術
    1. プラズマ装置の種類
    2. プラズマエッチング装置の変遷
    3. 放電方式
  4. プロセス技術
    1. 金属のエッチング
      1. Al合金
      2. W, Mo
      3. Cu
      4. 他
    2. 半導体のエッチング
      1. Si系材料
      2. III-V族系材料
      3. 他
    3. 絶縁物のエッチング
      1. SiO2
      2. Low-k材料
      3. 他
    4. 超高速エッチング
    5. 超高アスペクト比加工
    6. 高精度寸法制御
    7. プロセス構築手法
  5. ダメージ・汚染
    1. 絶縁破壊現象
    2. 物理・化学的ダメージ
    3. パーティクル
  6. 評価技術
    1. プラズマ診断技術
    2. 表面分析技術
  7. まとめ
    1. コア技術
    2. 今後の展望
  • 質疑応答・名刺交換
ページのトップヘ

会場

江東区産業会館

第1会議室

東京都 江東区 東陽4丁目5-18
江東区産業会館の地図
ページのトップヘ

主催

株式会社 R&D支援センター
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 47,600円 (税別) / 49,980円 (税込)

割引特典について

  • R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
    • 1名でお申込みいただいた場合、1名につき47,250円 (税込)
    • 2名同時にお申し込みいただいた場合、2名で49,980円 (税込)
    • 案内登録をされない方は、1名につき49,980円 (税込)
本セミナーは終了いたしました。
セミナーの再開催を依頼する
ページのトップヘ

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2026/6/1 湿式法による粒子表面へのコーティング技術の紹介と電池材料合成などへの展開 オンライン
2026/6/3 窒化物TIMの開発とフィラーの表面処理、配向制御 オンライン
2026/6/3 電磁波シールドめっき技術と新たな展開 オンライン
2026/6/4 プラスチック・ゴムの表面処理技術と接着性向上のための実務ポイント オンライン
2026/6/5 X線光電子分光法 (XPS、ESCA) の基礎と実務活用テクニック・ノウハウ オンライン
2026/6/5 電磁波シールドめっき技術と新たな展開 オンライン
2026/6/9 塗布膜乾燥の基本とプロセス・現象・本質の理解、最適化と欠陥・トラブル対策 オンライン
2026/6/11 コールドスプレーの原理・メカニズムと応用 オンライン
2026/6/12 コールドスプレーの原理・メカニズムと応用 オンライン
2026/6/17 ゴムと異種材料の加硫接着技術の基礎と表面処理技術 オンライン
2026/6/17 欧州PFAS規制の動向と対応策、想定される代替手段 オンライン
2026/6/19 めっきの基礎および不良要因とその対策 オンライン
2026/6/22 塗装劣化のメカニズムと不良対策・評価解析技術 オンライン
2026/6/22 シランカップリング剤のメカニズムと使用方法 オンライン
2026/6/24 PFAS規制関連の最新動向と対応する代替材料の動向 オンライン
2026/6/25 溶射技術の基礎とその応用 東京都 会場・オンライン
2026/6/25 ダイコーティングの基礎理論とトラブル対策 オンライン
2026/6/26 無機ナノ粒子の総合知識 東京都 会場・オンライン
2026/6/26 欧州PFAS規制の動向と対応策、想定される代替手段 オンライン
2026/6/29 薄膜測定・評価技術のポイント オンライン
ページのトップヘ