特許情報分析 (パテントマップ) から見た

半導体露光装置技術開発実態分析調査報告書

～テーマ別動向予測シリーズ～

概要

本調査報告書は、半導体露光装置に関するパテントマップ、パテントチャートを作成し、技術開発動向、最近の注目技術など具体的なデータを提供しております。

ご案内

1.調査目的

「半導体露光装置」に関する公開件数、発明者、および特許分類などに対し、時系列推移、技術分布図など様々な観点から分析したパテントマップおよび、パテントチャートを作成し、
① どの関連企業にどのような技術の公開があるか、
② 各企業の技術開発動向はどのように推移しているか、
③ 最近注目する技術は何なのか、
④ 各企業間の連携状況はどのようになっているか
等を明確にして、今後の開発の指針決定に役立てようとするものである。

2.特許情報の収集と処理:

本調査報告書は、「半導体露光装置」に関する過去10年間 (国内公開日:2001年～2010年) に及ぶ公開特許について、「特許検索ASPサービスSRPARTNER」 ( (株) 日立情報システムズ製) を使用し、検索、収集した。報告書作成にはパテントマップ作成支援ソフト「パテントマップEXZ」 (インパテック (株) 製) を使用した。特許情報公報の総数は39,296件である。

3.報告書の構成:

本報告書は、次の三つの部分から構成されている。

Ⅰ. パテントマップ編
- A.全般分析
- B.詳細 (出願人、特許分類、キーワード) 分析
  ※キーワード (発明の名称、要約、請求の範囲から抽出) においては、
  下記3グループの観点からも分析を行った。
  - ①露光種類系キーワード (紫外線露光・光露光、密着露光など13個)
  - ②露光制御系キーワード (光線、露光量など13個)
  - ③手段・装置系キーワード (基板処理手段・装置など20個)
  - ④目的・効果系キーワード (高精度、容易など18個)
  - ⑤基板系キーワード (ガラス基板、シリコン基板など13個)
Ⅱ. パテントチャート編
Ⅲ. 総括コメント

4.本報告書の特徴

「半導体露光装置」に関する技術動向が分かりやすく把握できる
パテントマップおよびパテントチャートで視覚的に理解しやすい
パテントマップViewer (添付ソフト) により、パテントマップおよびパテントチャートの当該部分に含まれる特許の詳細内容を調べることができる

パテントマップ実例、および本文中の実際のページ例

A. 全般分析
- A-1. 全体の技術開発ライフサイクル
- A-2. 公開件数の推移 (年次と累計)
- A-3. 出願人数の推移 (年次と累計)
- A-4. 新規発明者数の推移 (年次と累計)
- A-5. 新規FIメイングループ分類数の推移 (年次と累計)
- A-6. 新規FIサブグループ分類数の推移 (年次と累計)
- A-7. 新規Fターム分類数の推移 (年次と累計)
- A-8. 出願人別公開件数ランキング (上位100)
- A-9. 発明者別公開件数ランキング (上位50)
- A-10. FIメイングループ分類別公開件数ランキング (上位50)
- A-11. FIサブグループ分類別公開件数ランキング (上位100)
- A-12. Fタームテーマコード分類別公開件数ランキング (上位50)
- A-13. Fターム分類別公開件数ランキング (上位100)
- A-14. 1位Fタームテーマコード (5F146) の技術分類別件数 (観点×数字)
- A-15. 2位Fタームテーマコード (2H025) の技術分類別件数 (観点×数字)
- A-16. 発明者別公開件数グロスランキング (上位20)
- A-17. 出願人別参入・撤退状況 (最近40、公開件数5件以上)
- A-18. FIメイングループ分類別出現・消失状況 (公開件数上位40)
- A-19. FIサブグループ分類別出現・消失状況 (公開件数上位40)
- A-20. Fターム分類別出現・消失状況 (最近40、公開件数5件以上)
- A-21. 出願人別公開件数伸長率 (上位50、件数差15件以上)
- A-22. 発明者別公開件数伸長率 (上位50、件数差35件以上)
- A-23. FIメイングループ分類別公開件数伸長率 (上位50、件数差7件以上)
- A-24. FIサブグループ分類別公開件数伸長率 (上位50、件数差10件以上)
- A-25. Fターム分類別公開件数伸長率 (上位50、件数差600件以上)
- A-26. FIメイングループ分類別発明者数伸長率 (上位50、発明者数差20名以上)
- A-27. FIサブグループ分類別発明者数伸長率 (上位50、発明者数差25名以上)
- A-28. Fターム分類別発明者数伸長率 (上位50、発明者数差500名以上)
B. 詳細 (出願人、特許分類、キーワード) 分析
- B-1. 上位20出願人比較分析
  - B-1-1. 公開件数比較 (期間着目:2期間+全体)
  - B-1-2. 公開件数の推移 (累計)
  - B-1-3. 共同出願人数の推移 (累計)
  - B-1-4. 新規発明者数の推移 (累計)
  - B-1-5. 新規FIメイングループ分類数の推移 (累計)
  - B-1-6. 新規FIサブグループ分類数の推移 (累計)
  - B-1-7. 新規Fターム分類数の推移 (累計)
  - B-1-8. 新規キーワード数の推移 (累計)
  - B-1-9. 上位20FIメイングループ分類との公開件数相関
  - B-1-10. 上位20FIサブグループ分類との公開件数相関
  - B-1-11. 上位20Fターム分類との公開件数相関
  - B-1-12. Fタームテーマコード分類ランキング2位と3位における公開件数比較
  - B-1-13. 種類系キーワードとの公開件数相関
  - B-1-14. 露光制御系キーワードとの公開件数相関
  - B-1-15. 手段・装置系キーワードとの公開件数相関
  - B-1-16. 目的・効果系キーワードとの公開件数相関
  - B-1-17. 基板系キーワードとの公開件数相関
  - B-1-18. 露光種類系キーワードとの発明者数相関
  - B-1-19. 露光制御系キーワードとの発明者数相関
  - B-1-20. 手段・装置系キーワードとの発明者数相関
  - B-1-21. 目的・効果系キーワードとの発明者数相関
  - B-1-22. 基板系キーワードとの発明者数相関
  - B-1-23. 公開件数占有率
  - B-1-24. 公開件数の伸びと1位Fターム分類[2H025AB16]に関する構成率比較
  - B-1-25. 発明者数*FIサブグループ分類数の比較
- B-2. 上位5出願人個別分析
  - B-2-1-*. FIサブグループ分類別公開件数ランキング (上位50)
  - B-2-2-*. Fターム分類別公開件数ランキング (上位50)
  - B-2-3-*. FIサブグループ分類別公開件数の推移 (上位20、累計)
  - B-2-4-*. Fターム分類別公開件数の推移 (上位20、累計)
  - B-2-5-*. FIサブグループ分類別出現・消失状況 (最近40)
  - B-2-6-*. キーワード別出現・消失状況 (最近40、公開件数5件以上)
  - B-2-7-*. 独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング
  - B-2-8-*. 独自キーワード別公開件数ランキング (上位50)
  - B-2-9-*. 共同出願人との連携
    注:*は、上位5出願人が該当。
- B-3. ニコン、キヤノン2社分析
  - B-3-1. 2社の上位10FIサブグループ分類別公開件数の推移 (年次)
  - B-3-2. 2社のニコン上位10FIサブグループ分類別公開件数比較
  - B-3-3. 2社のキヤノン上位10FIサブグループ分類別公開件数比較
  - B-3-4. 2社のFIサブグループ分類別出現・消失状況 (公開件数上位20)
  - B-3-5. 2社のFターム分類別出現・消失状況 (公開件数上位20)
  - B-3-6. ニコンの公開件数伸長率変遷
  - B-3-7. キヤノンの公開件数伸長率変遷
  - B-3-8. 2社とFターム分類 (上位20) との公開件数相関
  - B-3-9. Fターム分類別公開件数グロスランキング (上位10)
- B-4. 上位特許分類分析
  - B-4-1. FIメイングループ分類別公開件数比較 (上位20) (期間着目:2期間+全体)
  - B-4-2. FIサブグループ分類別公開件数比較 (上位20) (期間着目:2期間+全体)
  - B-4-3. Fターム分類別公開件数比較 (上位20) (期間着目:2期間+全期間)
  - B-4-4. FIメイングループ分類別公開件数の推移 (上位20、累計)
  - B-4-5. FIサブグループ分類別公開件数の推移 (上位20、累計)
  - B-4-6. Fターム分類別公開件数の推移 (上位20、累計)
  - B-4-7. FIメイングループ分類別出願人数の推移 (上位20、年次)
  - B-4-8. FIサブグループ分類別出願人数の推移 (上位20、年次)
  - B-4-9. Fターム分類別出願人数の推移 (上位20、年次)
  - B-4-10. FIメイングループ分類別発明者数の推移 (上位20、年次)
  - B-4-11. FIサブグループ分類別発明者数の推移 (上位20、年次)
  - B-4-12. Fターム分類別発明者数の推移 (上位20、年次)
  - B-4-13. FIメイングループ分類別公開件数占有率 (公開件数上位20)
  - B-4-14. FIサブグループ分類別公開件数占有率 (公開件数上位20)
  - B-4-15. Fターム分類別公開件数占有率 (公開件数上位20)
- B-5. 特定特許分類分析
  - B-5-1. 特定FIサブグループ分類の公開件数の推移 (年次)
  - B-5-2. 特定Fターム分類の公開件数の推移 (年次)
  - B-5-3. 特定FIサブグループ分類の新規出願人数の推移 (年次)
  - B-5-4. 特定Fターム分類の新規出願人数の推移 (年次)
  - B-5-5. 特定FIサブグループ分類の新規発明者数の推移 (累計)
  - B-5-6. 特定Fターム分類の新規発明者数の推移 (累計)
  - B-5-7. 特定FIサブグループ分類H01L21/30の公開件数伸長率変遷
  - B-5-8. 特定FIサブグループ分類G03F7/20の公開件数伸長率変遷
  - B-5-9. 特定Fターム分類2H025AB16の公開件数伸長率変遷
  - B-5-10. 特定Fターム分類5F146BA03の公開件数伸長率変遷
  - B-5-11. 特定FIサブグループ分類H01L21/30の出願人別公開件数ランキング (上位50)
  - B-5-12. 特定FIサブグループ分類G03F7/20の出願人別公開件数ランキング (上位50)
  - B-5-13. 特定Fターム分類2H025AB16の出願人別公開件数ランキング (上位50)
  - B-5-14. 特定Fターム分類5F146BA03の出願人別公開件数ランキング (上位50)
- B-6. キーワード分析
  - B-6-1. キーワード別公開件数ランキング (上位100)
  - B-6-2. キーワード別出現・消失状況 (最近200、公開件数10件以上)
  - B-6-3. キーワード別公開件数の伸長率 (上位50、件数差30件以上)
  - B-6-4. 露光種類系キーワードの公開件数の推移 (累計)
  - B-6-5. 露光制御系キーワードの公開件数の推移 (累計)
  - B-6-6. 手段・装置系キーワードの公開件数の推移 (累計)
  - B-6-7. 目的・効果系キーワードの公開件数の推移 (累計)
  - B-6-8. 基板系キーワードの公開件数の推移 (累計)
  - B-6-9. 露光種類系キーワードの出願人数の推移 (累計)
  - B-6-10. 露光制御系キーワードの出願人数の推移 (累計)
  - B-6-11. 手段・装置系キーワードの出願人数の推移 (累計)
  - B-6-12. 目的・効果系キーワードの出願人数の推移 (累計)
  - B-6-13. 基板系キーワードの出願人数の推移 (累計)
  - B-6-14. 露光種類系キーワードの新規発明者数の推移 (累計)
  - B-6-15. 露光制御系キーワードの新規発明者数の推移 (累計)
  - B-6-16. 手段・装置系キーワードの新規発明者数の推移 (累計)
  - B-6-17. 目的・効果系キーワードの新規発明者数の推移 (累計)
  - B-6-18. 基板系キーワードの新規発明者数の推移 (累計)
  - B-6-19. 露光種類系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
  - B-6-20. 露光制御系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
  - B-6-21. 手段・装置系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
  - B-6-22. 目的・効果系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
  - B-6-23. 基板系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
  - B-6-24. 露光種類系キーワードと露光制御系キーワードの公開件数相関
  - B-6-25. 露光種類系キーワードと手段・装置系キーワードの公開件数相関
  - B-6-26. 露光種類系キーワードと目的・効果系キーワードの公開件数相関
  - B-6-27. 露光種類系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関
  - B-6-28. 露光制御系キーワードと手段・装置系キーワードの公開件数相関
  - B-6-29. 露光制御系キーワードと目的・効果系キーワードの公開件数相関
  - B-6-30. 露光制御系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関
  - B-6-31. 手段・装置系キーワードと目的・効果系キーワードの公開件数相関
  - B-6-32. 手段・装置系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関
  - B-6-33. 目的・効果系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関

Ⅱ. パテントチャート編

C-1. 小松製作所の時系列チャート分析 (2009年～2010年)
C-2. 三菱電機の時系列チャート分析 (2009年～2010年)
C-3. 小松製作所の上位3FIメイングループ分類と上位3発明者のマトリクスチャート分析 (2009年～2010年)
C-4. 三菱電機の上位3FIメイングループ分類と上位3発明者のマトリクスチャート分析 (2009年～2010年)

Ⅲ. 総括コメント

参考資料

資料1 : 出願人統合リスト
資料2 : パテントマップ・パテントチャートの種別と見方
資料3 : パテントマップ Viewer (添付ソフト) の使い方

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出版社

株式会社パテントテック社

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お問い合わせ

本出版物に関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。

(出版社への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

体裁・ページ数

A4判簡易製本 (Viewerソフトウェア添付) 244ページ

ISBNコード

ISBN978-4-904967-74-4

発行年月

2011年11月

販売元

tech-seminar.jp

価格

66,818円 (税別) / 73,500円 (税込)

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開始日時		会場	開催方法
2025/8/27	技術を価値に変える構想力と実践法		オンライン
2025/8/27	三次元実装 (3D実装) および(TSV、TGVなどの) 貫通電極に関する微細加工、材料技術、試験評価の動き		オンライン
2025/8/27	IPランドスケープによる戦略的な知財活動の進め方		オンライン
2025/8/27	後発参入でも勝てる技術・知財戦略の策定と実践方法		オンライン
2025/8/27	ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向		オンライン
2025/8/27	光電融合に向けた次世代コパッケージ技術と光集積・接続技術の最新動向		オンライン
2025/8/27	半導体製造の化学機械研磨 (CMP) 技術の概要とCMP後洗浄の特徴〜今後の動向		オンライン
2025/8/27	様々な裁判例から見る医薬品の特許権存続期間延長の実務・LCM戦略とパテントリンケージへの対応		オンライン
2025/8/28	先端半導体パッケージ基板の最新動向と再配線層材料の開発		オンライン
2025/8/28	次世代自動車・データセンタ用サーバ電源高性能化に対応するSiC/GaNパワーデバイスの技術動向と課題		オンライン
2025/8/28	進歩性の意味、理解できていますか?		オンライン
2025/8/28	事業を成功に導く、グローバル特許戦略の策定方法	東京都	オンライン
2025/8/29	研究開発部門を対象とした特許明細書の作成法とクレームの書き方ノウハウ講座		オンライン
2025/8/29	半導体パッケージの基礎と品質管理および最新動向		オンライン
2025/8/29	化学分野における特許出願戦略と強い明細書の作成		オンライン
2025/9/1	研究開発部門を対象とした特許明細書の作成法とクレームの書き方ノウハウ講座		オンライン
2025/9/4	半導体パッケージの基礎と製作プロセスその課題および最新技術動向		オンライン
2025/9/4	特許調査への生成AIの活用		オンライン
2025/9/5	後発参入でも勝てる技術・知財戦略の策定と実践方法		オンライン
2025/9/9	チップレット実装に関する基礎とテスト・評価技術		オンライン

発行年月
2012/6/15	半導体・液晶パネル製造装置9社技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2012/6/15	半導体・液晶パネル製造装置9社技術開発実態分析調査報告書
2012/6/15	紙おむつ技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2012/6/15	紙おむつ技術開発実態分析調査報告書
2012/6/5	空気清浄機技術開発実態分析調査報告書
2012/6/5	空気清浄機技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2012/6/1	防音・吸音・遮音材技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2012/6/1	防音・吸音・遮音材技術開発実態分析調査報告書
2012/6/1	冷蔵庫技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2012/6/1	冷蔵庫技術開発実態分析調査報告書
2012/5/25	化粧品13社技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2012/5/25	化粧品13社技術開発実態分析調査報告書
2012/5/20	エレクトロニクス分野へのダイヤモンド応用技術技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2012/5/20	エレクトロニクス分野へのダイヤモンド応用技術技術開発実態分析調査報告書
2012/5/1	界面活性剤技術開発実態分析調査報告書
2012/5/1	リチウムイオン電池技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2012/5/1	リチウムイオン電池技術開発実態分析調査報告書
2012/5/1	界面活性剤技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2012/4/20	デジカメ主要8社の静止画信号処理技術技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2012/4/20	デジカメ主要8社の静止画信号処理技術技術開発実態分析調査報告書

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