特許情報分析(パテントマップ)から見た

半導体・液晶パネル製造装置9社技術開発実態分析調査報告書

～テーマ別動向予測シリーズ～

概要

本調査報告書は、「半導体・液晶パネル製造装置9社」に関するパテントマップ、パテントチャートを作成し、技術開発動向、最近の注目技術など具体的なデータを提供しております。
半導体・液晶パネル製造装置9社技術開発実態分析調査報告書のCD-ROM版もご用意しております。

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1. 調査目的

「半導体・液晶パネル製造装置9社」に関する公開件数、出願人(共同出願人)、発明者、および特許分類、キーワードなどに対し、ランキング、時系列推移、技術分布図など様々な観点から分析したパテントマップおよび、パテントチャートを作成し、

(1). どの半導体・液晶パネル製造装置関連企業にどのような技術の公開があるか、
(2). 各企業の技術開発動向はどのように推移しているか、
(3). 最近注目の技術は何なのか、
(4). 共同出願人間の連携状況はどのようになっているか、
(5). この技術分野に強い弁理士(特許事務所)は誰か、
(6). 各企業がどの弁理士(特許事務所)を利用しているか、
等を明確にして、知財の現状に付き具体的データを提供し、今後の開発の指針決定に役立てようとするものである。

半導体・液晶パネル製造装置9社

1. ニコン
2. 日立国際電気
3. 東京エレクトロン
4. 日立ハイテクノロジーズ
5. 大日本スクリーン製造
6. アルバック
7. ディスコ
8. アドバンテスト
9. 東京精密

2. 特許情報の収集方法

　本調査報告書は、「半導体・液晶パネル製造装置9社」に関する過去10年余(国内公開日:2002年1月1日～2012年 3月31日)に及ぶ公開特許について、特許検索ASPサービスSRPARTNER」((株)日立システムズ製)を使用し、検索、収集した。
　また、報告書作成には、パテントマップ作成支援ソフト「パテントマップEXZ」(インパテック(株)製)を使用した。
　特許情報公報の総数は 48,930件である。

3. 報告書の構成

本報告書は、以下の3つの部分から構成されている。

1. パテントマップ編
- A. 半導体・液晶パネル製造装置9社全体分析
- B. 半導体・液晶パネル製造装置9社技術開発状況分析(特許分類)
- C. 半導体・液晶パネル製造装置9社技術開発状況分析(キーワード)
- D. 半導体・液晶パネル製造装置9社比較分析
- E. 半導体・液晶パネル製造装置9社個別分析
- F. 特定2社比較分析(1位ニコン、2位日立国際電気)
- G. 直近2年間の動向分析(2010年4月～2012年3月)
- H. 弁理士(特許事務所)の動向分析
2. パテントチャート編
3. 総括コメント

4. 本報告書の特徴

「半導体・液晶パネル製造装置9社」に関する最近10年余、さらには直近2年間(最新月まで)の技術動向が分かりやすく把握できる
本技術分野に関する弁理士(特許事務所)の動静が読み取れる
パテントマップおよびパテントチャートで視覚的に理解しやすい

パテントマップ実例、および本文中の実際のページ例

A. 半導体・液晶パネル製造装置9社全体分析
- A-1. 公開件数の推移(年次と累計)
- A-2. 出願人別公開件数ランキング(上位50)
- A-3. 発明者数の推移(年次と累計)
- A-4. 新規発明者数の推移(年次と累計)
- A-5. 公開件数*新規発明者数の推移対比(年次)
- A-6. Fタームテーマコード分類別公開件数ランキング(上位50)
- A-7. 1位Fタームテーマコード(5F146)の技術分類別件数(観点×数字)
- A-8. 3位Fタームテーマコード(5C122)の技術分類別件数(観点×数字)
B. 半導体・液晶パネル製造装置9社技術開発状況分析(特許分類)
- B-1-1. 新規FIメイングループ分類数の推移(年次と累計)
- B-1-2. 新規FIサブグループ分類数の推移(年次と累計)
- B-1-3. 新規FI分類数の推移(年次と累計)
- B-1-4. 新規Fタームテーマコード分類数の推移(年次と累計)
- B-1-5. 新規Fターム分類数の推移(年次と累計)

B-2. 分類別公開件数
- B-2-1. FIメイングループ分類別公開件数比較(上位20)(期間着目:2期間+全体)
- B-2-2. FIサブグループ分類別公開件数比較(上位20)(期間着目:2期間+全体)
- B-2-3. FI分類別公開件数比較(上位20)(期間着目:2期間+全体)
- B-2-4. Fタームテーマコード分類別公開件数比較(上位20)(期間着目:2期間+全体)
- B-2-5. Fターム分類別公開件数比較(上位20)(期間着目:2期間+全体)
- B-2-6. FIメイングループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- B-2-7. FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- B-2-8. FI分類別公開件数ランキング(上位50)
- B-2-9. Fタームテーマコード分類別公開件数ランキング(上位50)
- B-2-10. Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- B-2-11. FIメイングループ分類別公開件数の伸長率(上位50)
- B-2-12. FIサブグループ分類別公開件数の伸長率(上位50)
- B-2-13. FI分類別公開件数の伸長率(上位50)
- B-2-14. Fタームテーマコード分類別公開件数の伸長率(上位50)
- B-2-15. Fターム分類別公開件数の伸長率(上位50)
- B-2-16. FIメイングループ分類別公開件数の推移(上位40、累計)
- B-2-17. FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位40、累計)
- B-2-18. FI分類別公開件数の推移(上位40、累計)
- B-2-19. Fタームテーマコード分類別公開件数の推移(上位40、累計)
- B-2-20. Fターム分類別公開件数の推移(上位40、累計)
B-3. 分類別展開
- B-3-1. FIメイングループ分類別出現・消失状況(上位40)
- B-3-2. FIメイングループ分類別出現・消失状況(最近出現40、公開件数5件以上)
- B-3-3. FIサブグループ分類別出現・消失状況(上位40)
- B-3-4. FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近出現40、公開件数5件以上)
- B-3-5. FI分類別出現・消失状況(上位40)
- B-3-6. FI分類別出現・消失状況(最近出現40、公開件数5件以上)
- B-3-7. Fタームテーマコード分類別出現・消失状況(上位40)
- B-3-8. Fタームテーマコード分類別出現・消失状況(最近出現40、公開件数5件以上)
- B-3-9. Fターム分類別出現・消失状況(上位40)
- B-3-10. Fターム分類別出現・消失状況(最近出現40、公開件数5件以上)
- B-3-11. FIメイングループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- B-3-12. FIサブグループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- B-3-13. FI分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- B-3-14. Fタームテーマコード分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- B-3-15. Fターム分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- B-3-16. FIメイングループ分類別公開件数占有率(上位20)
- B-3-17. FIサブグループ分類別公開件数占有率(上位20)
- B-3-18. FI分類別公開件数占有率(上位20)
- B-3-19. Fタームテーマコード分類別公開件数占有率(上位20)
- B-3-20. Fターム分類別公開件数占有率(上位20)

C. 半導体・液晶パネル製造装置9社技術開発状況分析(キーワード)
- C-1. キーワード別公開件数ランキング(上位100)
- C-2. キーワード別公開件数の伸長率(上位50)
- C-3. キーワード別出現・消失状況(上位80)
- C-4. キーワード別出現・消失状況(最近出現80、公開件数5件以上)
- C-5. キーワード別出現・消失状況(最初消失80、公開件数5件以上)
D. 半導体・液晶パネル製造装置9社比較分析
- D-1. 公開件数比較(期間着目:2期間+全体)
- D-2. 公開件数の推移(累計)
- D-3. 新規FIメイングループ分類数の推移(累計)
- D-4. 新規FIサブグループ分類数の推移(累計)
- D-5. 新規FI分類数の推移(累計)
- D-6. 新規Fタームテーマコード分類数の推移(累計)
- D-7. 新規Fターム分類数の推移(累計)
- D-8. 新規発明者数の推移(累計)
- D-9. 共同出願人数の推移(累計)
- D-10. 半導体・液晶パネル製造装置9社間の公開件数相関
- D-11. 上位20共同出願人との公開件数相関
- D-12. 上位20FIメイングループ分類との公開件数相関
- D-13. 上位20FIサブグループ分類との公開件数相関
- D-14. 上位20FI分類との公開件数相関
- D-15. 上位20Fタームテーマコード分類との公開件数相関
- D-16. 上位20Fターム分類との公開件数相関
- D-17. 公開件数占有率
- D-18. 公開件数(審査権利状況)占有率
- D-19. 公開件数の伸びと1位Fターム分類[5F031CA02]に関する構成率比較
E. 半導体・液晶パネル製造装置9社個別分析
- E-1-1. 【ニコン】FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-1-2. 【日立国際電気】FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-1-3. 【東京エレクトロン】FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-1-4. 【日立ハイテクノロジーズ】FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-1-5. 【大日本スクリーン製造】FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-1-6. 【アルバック】FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-1-7. 【ディスコ】FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-1-8. 【アドバンテスト】FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-1-9. 【東京精密】FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-2-1. 【ニコン】Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-2-2. 【日立国際電気】Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-2-3. 【東京エレクトロン】Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-2-4. 【日立ハイテクノロジーズ】Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-2-5. 【大日本スクリーン製造】Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-2-6. 【アルバック】Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-2-7. 【ディスコ】Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-2-8. 【アドバンテスト】Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-2-9. 【東京精密】Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-3-1. 【ニコン】FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-3-2. 【日立国際電気】FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-3-3. 【東京エレクトロン】FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-3-4. 【日立ハイテクノロジーズ】FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-3-5. 【大日本スクリーン製造】FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-3-6. 【アルバック】FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-3-7. 【ディスコ】FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-3-8. 【アドバンテスト】FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-3-9. 【東京精密】FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-4-1. 【ニコン】Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-4-2. 【日立国際電気】Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-4-3. 【東京エレクトロン】Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-4-4. 【日立ハイテクノロジーズ】Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-4-5. 【大日本スクリーン製造】Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-4-6. 【アルバック】Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-4-7. 【ディスコ】Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-4-8. 【アドバンテスト】Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-4-9. 【東京精密】Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
- E-5-1. 【ニコン】FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-5-2. 【日立国際電気】FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-5-3. 【東京エレクトロン】FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-5-4. 【日立ハイテクノロジーズ】FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-5-5. 【大日本スクリーン製造】FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-5-6. 【アルバック】FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-5-7. 【ディスコ】FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-5-8. 【アドバンテスト】FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-5-9. 【東京精密】FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-6-1. 【ニコン】Fターム分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-6-2. 【日立国際電気】Fターム分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-6-3. 【東京エレクトロン】Fターム分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-6-4. 【日立ハイテクノロジーズ】Fターム分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-6-5. 【大日本スクリーン製造】Fターム分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-6-6. 【アルバック】Fターム分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-6-7. 【ディスコ】Fターム分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-6-8. 【アドバンテスト】Fターム分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-6-9. 【東京精密】Fターム分類別出現・消失状況(最近出現40)
- E-7-1. 【ニコン】FIサブグループ分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-7-2. 【日立国際電気】FIサブグループ分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-7-3. 【東京エレクトロン】FIサブグループ分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-7-4. 【日立ハイテクノロジーズ】FIサブグループ分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-7-5. 【大日本スクリーン製造】FIサブグループ分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-7-6. 【アルバック】FIサブグループ分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-7-7. 【ディスコ】FIサブグループ分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-7-8. 【アドバンテスト】FIサブグループ分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-7-9. 【東京精密】FIサブグループ分類別公開件数伸長率
- E-8-1. 【ニコン】Fターム分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-8-2. 【日立国際電気】Fターム分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-8-3. 【東京エレクトロン】Fターム分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-8-4. 【日立ハイテクノロジーズ】Fターム分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-8-5. 【大日本スクリーン製造】Fターム分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-8-6. 【アルバック】Fターム分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-8-7. 【ディスコ】Fターム分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-8-8. 【アドバンテスト】Fターム分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-8-9. 【東京精密】Fターム分類別公開件数伸長率(上位50)
- E-9-1. 【ニコン】FIサブグループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-9-2. 【日立国際電気】FIサブグループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-9-3. 【東京エレクトロン】FIサブグループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-9-4. 【日立ハイテクノロジーズ】FIサブグループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-9-5. 【大日本スクリーン製造】FIサブグループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-9-6. 【アルバック】FIサブグループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-9-7. 【ディスコ】FIサブグループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-9-8. 【アドバンテスト】FIサブグループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-9-9. 【東京精密】FIサブグループ分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-10-1. 【ニコン】Fターム分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-10-2. 【日立国際電気】Fターム分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-10-3. 【東京エレクトロン】Fターム分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-10-4. 【日立ハイテクノロジーズ】Fターム分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-10-5. 【大日本スクリーン製造】Fターム分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-10-6. 【アルバック】Fターム分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-10-7. 【ディスコ】Fターム分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-10-8. 【アドバンテスト】Fターム分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-10-9. 【東京精密】Fターム分類別公開件数の伸びと構成率(上位20)
- E-11-1. 【ニコン】独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-11-2. 【日立国際電気】独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-11-3. 【東京エレクトロン】独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-11-4. 【日立ハイテクノロジーズ】独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-11-5. 【大日本スクリーン製造】独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-11-6. 【アルバック】独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-11-7. 【ディスコ】独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-11-8. 【アドバンテスト】独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-11-9. 【東京精密】独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-12-1. 【ニコン】独自Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-12-2. 【日立国際電気】独自Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-12-3. 【東京エレクトロン】独自Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-12-4. 【日立ハイテクノロジーズ】独自Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-12-5. 【大日本スクリーン製造】独自Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-12-6. 【アルバック】独自Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-12-7. 【ディスコ】独自Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-12-8. 【アドバンテスト】独自Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-12-9. 【東京精密】独自Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
- E-13-1. 【ニコン】独自キーワード別公開件数ランキング(上位50)
- E-13-2. 【日立国際電気】独自キーワード別公開件数ランキング(上位50)
- E-13-3. 【東京エレクトロン】独自キーワード別公開件数ランキング(上位50)
- E-13-4. 【日立ハイテクノロジーズ】独自キーワード別公開件数ランキング(上位50)
- E-13-5. 【大日本スクリーン製造】独自キーワード別公開件数ランキング(上位50)
- E-13-6. 【アルバック】独自キーワード別公開件数ランキング(上位50)
- E-13-7. 【ディスコ】独自キーワード別公開件数ランキング(上位50)
- E-13-8. 【アドバンテスト】独自キーワード別公開件数ランキング(上位50)
- E-13-9. 【東京精密】独自キーワード別公開件数ランキング(上位50)
- E-14-1. 【ニコン】共同出願人との連携(上位50)
- E-14-2. 【日立国際電気】共同出願人との連携(上位50)
- E-14-3. 【東京エレクトロン】共同出願人との連携(上位50)
- E-14-4. 【日立ハイテクノロジーズ】共同出願人との連携(上位50)
- E-14-5. 【大日本スクリーン製造】共同出願人との連携(上位50)
- E-14-6. 【アルバック】共同出願人との連携(上位50)
- E-14-7. 【ディスコ】共同出願人との連携
- E-14-8. 【アドバンテスト】共同出願人との連携
- E-14-9. 【東京精密】共同出願人との連携
F. 特定2社比較分析(1位ニコン、2位日立国際電気)
- F-1. 2社の上位10FIメイングループ分類別公開件数比較
- F-2. 2社の上位10FIサブグループ分類別公開件数比較
- F-3. 2社の上位10FI分類別公開件数比較
- F-4. 2社の上位10Fタームテーマコード分類別公開件数比較
- F-5. FIメイングループ分類別公開件数推移比較(上位20、年次)
- F-6. FIサブグループ分類別公開件数推移比較(上位20、年次)
- F-7. FI分類別公開件数推移比較(上位20、年次)
- F-8. Fタームテーマコード分類別公開件数推移比較(上位20、年次)
- F-9. FIメイングループ分類別公開件数の伸長率比較(上位20)
- F-10. FIサブグループ分類別公開件数の伸長率比較(上位20)
- F-11. FI分類別公開件数の伸長率比較(上位20)
- F-12. Fタームテーマコード分類別公開件数の伸長率比較(上位20)
- F-13. Fターム分類別公開件数グロスランキング(上位20)
- F-14. Fターム分類(上位20)との公開件数相関
G. 直近2年間の動向分析(2010年4月～2012年3月)
- G-1. 出願人別公開件数ランキング(上位20)
- G-2. 出願人別公開件数占有率(上位20)
- G-3. FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位20)
- G-4. FIサブグループ分類1位H01L21/30と他分類との相関(上位20)
- G-5. Fターム分類別公開件数ランキング(上位20)
- G-6. Fターム分類1位5C122DA04と他分類との相関(上位20)
- G-7. 上位20出願人と上位20FIサブグループ分類との公開件数相関
- G-8. 上位20出願人と上位20Fターム分類との公開件数相関
H. 弁理士(特許事務所)の動向分析
- H-1. 弁理士(特許事務所)別公開件数ランキング(上位40)
- H-2. 弁理士(特許事務所)別公開件数の推移(上位40、年次)
- H-3. 上位40弁理士(特許事務所)と上位20FIメイングループ分類との公開件数相関
- H-4. 上位40弁理士(特許事務所)と上位40出願人との公開件数相関

2. パテントチャート編

(1). 東北大学の時系列チャート分析(2007年～2008年)
(2). キヤノンの時系列チャート分析(2007年～2008年)
(3). 東北大学の上位2FIメイングループ分類と上位2発明者のマトリクスチャート分析(2007年～2008年)
(4). キヤノンの上位2FIメイングループ分類と上位2発明者のマトリクスチャート分析(2007年～2008年)

3. 総括コメント

参考資料

資料1 : 出願人統合リスト
資料2 : 最初210件公報の審査権利状況リスト
資料3 : パテントマップ・パテントチャートの種別と見方

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出版社

株式会社パテントテック社

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お問い合わせ

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体裁・ページ数

A4判簡易製本 (Viewerソフトウェア、パテントマップ・チャート添付) 292ページ

ISBNコード

ISBN978-4-86483-116-1

発行年月

2012年6月

販売元

tech-seminar.jp

価格

57,273円 (税別) / 63,000円 (税込)

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開始日時		開催方法
2025/7/22	IPランドスケープ®実践に役立つ6つのハウツー講座	オンライン
2025/7/22	パワー半導体の接合技術、材料開発動向と信頼性向上	オンライン
2025/7/22	量子ドットの基礎物性、作製、構造測定技術とデバイス応用	オンライン
2025/7/23	水の動きで読み解く半導体洗浄のポイント	オンライン
2025/7/23	半導体パッケージの基礎知識、技術動向と課題	オンライン
2025/7/23	AI関連発明の出願戦略のポイントと生成AIを巡る知財制度上の留意点	オンライン
2025/7/24	水の動きで読み解く半導体洗浄のポイント	オンライン
2025/7/24	先端半導体デバイスにおける多層配線技術と2.5D/3Dデバイス集積化技術	オンライン
2025/7/24	半導体製造における後工程・実装・設計の基礎・入門講座	オンライン
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発行年月
1991/8/1	液晶パネル製造プロセス技術
1990/6/1	LSI周辺金属材料・技術
1988/10/1	高密度表面実装 (SMT) におけるLSIパッケージング技術
1988/2/1	半導体の故障モードと加速試験
1985/12/1	アナログIC/LSIパターン設計 (Ⅰ)
1985/11/1	アナログIC/LSIパターン設計 (Ⅱ)

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