技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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(2026年9月28日 10:30〜12:00)
半導体デバイスの高集積化に伴う急速な微細化により、プラズマ装置内部からの発塵 (パーティクル) 汚染による製造歩留り低下の深刻な問題となっている。シリコンウェハのエッチングに用いられるハロゲン系プラズマは、プラズマエッチング装置の内壁をも腐食させ、発生したパーティクルがウェハ上に付着することで、半導体デバイスの集積回路内での絶縁不良を引き起こす。このようなパーティクル汚染を抑制するため、高いプラズマ耐性を有するセラミックスが半導体製造装置用部材として使用されている。今後、さらなる高プラズマ耐性セラミックス部材を開発するためには、プラズマ環境下における腐食挙動およびメカニズムの解明が極めて重要となる。
本講演では、半導体製造装置用セラミックス部材の開発動向とプラズマ耐性について概説するとともに、代表的な高プラズマ耐性材料であるイットリウム系セラミックス (Y2O3、オキシフッ化イットリウム) について、講師らが行ってきたプラズマ耐性評価に関する研究例について紹介する。
(2026年9月28日 13:00〜14:30)
現在、半導体は産業上の一部品としてではなく、経済安全保障にも関わる極めて重要な「特定重要物資」として取り扱われています。半導体製造の前工程における装置稼働率や歩留まりの向上が収益や競争力に直結しますが、それらを低下させる要因の一つにプラズマエッチングプロセスで発生する不良や異常が挙げられます。装置稼働率や歩留まりの向上に資する、エッチングチャンバー部品用プラズマ耐性セラミックス材料へのニーズは大きく、研究開発が活発に進められています。
(2026年9月28日 14:45〜16:15)
自己治癒セラミックスは、高温操業中に自己治癒することが期待された。近年、操業中の治癒でなくても、定期的に治癒プロセスを行うことで操業中の損害を減らすという利用も検討されるようになった。そこで、ドライエッチング装置のような半導体製造装置に使われるY2O3セラミックスのような部材に自己治癒機能を導入できれば、高価なセラミックス部材を長く利用できるのではないかと考えた。
本報告では、その自己治癒セラミックスに関する基礎的なコンセプトや機械的特性、半導体製造装置への適用に向けた開発などについて説明する。
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| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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| 2026/9/14 | 粉体ハンドリング技術の基礎とプロセス最適化 | オンライン | |
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| 2026/9/15 | 導電性接着剤の熱・電気伝導特性評価および特性向上のための材料設計 | オンライン | |
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| 2026/9/16 | クライオエッチングの基礎・現状・課題と最新技術動向 | オンライン | |
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| 2026/9/18 | 粉粒体ハンドリング技術の基礎・応用とトラブル対策 | オンライン | |
| 2026/9/18 | コナ (粉体) の固結メカニズムと評価・対策法 | 東京都 | 会場 |
| 2026/9/18 | 2nm以降半導体向け配線技術の最新動向と材料、プロセスへの要求特性 | オンライン | |
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| 2026/9/18 | TD-NMR (パルスNMR, LF-NMR) による分散性評価および粒子界面特性評価 | オンライン | |
| 2026/9/24 | 半導体パッケージの基礎知識、最新技術動向と課題 | オンライン | |
| 2026/9/24 | 電子部品・材料の故障解析技術 | オンライン | |
| 2026/9/24 | TD-NMR (パルスNMR, LF-NMR) による分散性評価および粒子界面特性評価 | オンライン | |
| 2026/9/25 | 造粒技術の基礎・応用と粉体分野の化学工学的計算 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/7/14 | 粉体混合技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2025/7/14 | 粉体混合技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (書籍版) |
| 2024/12/27 | 次世代高速・高周波伝送部材の開発動向 |
| 2024/11/29 | ファインケミカル、医薬品の連続生産プロセス |
| 2024/11/13 | 世界のチップレット・先端パッケージ 最新業界レポート |
| 2024/9/13 | 世界のAIデータセンターを支える材料・デバイス 最新業界レポート |
| 2024/6/19 | 半導体・磁性体・電池の固/固界面制御と接合・積層技術 |
| 2024/4/30 | 次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術 |
| 2024/2/29 | セラミックス・金属の焼成、焼結技術とプロセス開発 |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
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