技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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国立研究開発法人 産業技術総合研究所
先端半導体研究センター
CMOSインテグレーション研究チーム
国立研究開発法人産業技術総合研究所九州センターにおいて半導体量産ラインにおける製造効率向上に資するモニタリング手法の研究開発に取り組んでおります。
プラズマエッチング工程におけるパーティクル検出や異常放電検知など、量産現場で発生しているプロセス異常のその場検出手法やプロセス装置の状態モニタリング技術の研究開発を進めております。
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
| 2025/11/19 | プラズマエッチングにおけるパーティクル・プロセス異常の検出技術と対策 | オンライン | |
| 2025/12/3 | プラズマエッチングにおけるプロセス不良発生の検出とプラズマ耐性材料の評価技術 | オンライン | |
| 2025/12/9 | プラズマエッチングにおけるパーティクル・プロセス異常の検出とプラズマ耐性材料とその評価技術 | オンライン | |
| 2025/12/12 | プラズマエッチングにおけるプロセス不良発生の検出とプラズマ耐性材料の評価技術 | オンライン |
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
| 2025/6/23 | プラズマエッチングの基礎、ダメージ・不良の低減と異常の検出・評価技術 | オンライン | |
| 2024/12/19 | プラズマエッチングにおけるパーティクル・プロセス異常の検出技術とプラズマ耐性部材 | オンライン | |
| 2024/10/4 | プラズマエッチングにおけるプロセス不良の検出とプラズマ耐性材料の評価技術 | オンライン | |
| 2024/6/20 | プラズマエッチング装置・プロセスにおける不良発生の検知技術と部材のプラズマ耐性向上技術 | オンライン |