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パワーデバイス半導体SiC結晶と欠陥評価技術

パワーデバイス半導体SiC結晶と欠陥評価技術

~SiC結晶、欠陥の種類、デバイス特性への影響、結晶欠陥の評価手法~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、SiC結晶やその欠陥の種類、デバイス特性への影響についてレビューした後、結晶欠陥の評価手法に関して解説いたします。

開催日

  • 2026年6月29日(月) 13時00分16時30分

修得知識

  • SiC結晶欠陥に関する基礎
  • SiC結晶の評価手法

プログラム

 SiCパワーデバイスは、N700S系新幹線をはじめとする電鉄車両の電力変換や、電気自動車などにすでに用いられており、社会実装が始まっている。しかし、無転位の結晶を前提とすることができるSiと比較すると、多くの結晶欠陥がSiCウェハには含まれており、SiCパワーデバイスの生産性を低下させる原因となっている。このため、SiCパワーデバイスにおいては、結晶欠陥の評価が重要となる。
 本講座では、SiC結晶やその欠陥の種類、デバイス特性への影響についてレビューした後、結晶欠陥の評価手法に関して解説を行い、SiCウェハの欠陥評価法の理解を深める。

  1. はじめに:SiCパワーデバイスと結晶欠陥
    1. SiCパワーデバイスの特性と高品質SiC結晶基板の重要性
    2. SiC基板市場の現在地と供給状況
    3. SiCウェハにおける「品質」とは
  2. SiCの結晶構造
    1. SiCの結晶多形 (Polytype) とその記述
    2. 六方晶の結晶方位 (四指数法)
    3. Si面とC面、オフ角
  3. 結晶欠陥の基礎
    1. 結晶欠陥の種類
      • 点欠陥
      • 線欠陥
      • 面欠陥
    2. 転位の基礎
      • 刃状転位
      • らせん転位
      • 混合転位
  4. SiC結晶欠陥の種類とデバイスへの影響
    1. SiC特有の欠陥
      • マイクロパイプ
      • 貫通転位
      • 基底面転位
    2. 貫通転位の分類と基底面転位 (BPD)
      • TSD
      • TED
      • TMD
    3. 積層欠陥とエピ膜中の欠陥
    4. デバイスリーク電流・耐圧への影響
    5. 酸化膜信頼性への影響
    6. バイポーラ劣化と積層欠陥拡張メカニズム
  5. 結晶欠陥の評価法
    1. 結晶欠陥評価法の全体像
    2. X線トポグラフィ法 (放射光トポグラフィ含む)
    3. フォトルミネッセンス法 (PL)
    4. 偏光顕微鏡法 (PLM)
    5. KOHエッチング法
    6. 透過電子顕微鏡法 (TEM)
    7. 各評価手法の特徴と適用範囲
  6. マルチモーダル解析と自動検出
    1. 結晶欠陥のマルチモーダル解析
    2. 複数評価手法による同一欠陥の対応付け
    3. 欠陥自動検出アルゴリズム (画像処理)
  7. 結晶欠陥制御の実例
    1. 昇華法・溶液法による結晶成長と欠陥低減
    2. イオン注入による積層欠陥拡張の抑制技術
  8. まとめ・質疑応答
    1. まとめ:SiC結晶欠陥評価・制御の重要性
    2. 質疑応答

講師

  • 原田 俊太
    名古屋大学 未来材料・システム研究所 附属未来エレクトロニクス集積研究センター 未来デバイス部
    准教授

主催

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お問い合わせ

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(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 34,400円 (税別) / 37,840円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
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  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
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