技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。
フォトレジスト材料は、ポジ型、ネガ型、化学増幅型、非化学増幅型などとして分類され、i線、G線、KrF、ArF、EB、およびEUV露光用レジスト材料として活用されている。高感度化をすること、すなわち、露光量を少なくさせることは、短時間でパタンニング処理を可能にし、生産性を上げることを可能にする。しかし、それだけではなく、レジストパタンの解像性を上昇させ、レジストパタンのラフネスの改善にも大きく貢献することになる。次世代レジストシステムとして、EUV露光システムが実用化段階に入っているが、最も研究開発が必要とされているのは、EUV用のレジスト材料の開発である。現在のところ、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるとされるレジスト材料は未だない。新しいレジスト材料の開発は、様々なレジスト特性を評価検討する必要があるが、まずは少ない露光量でパタンニングが可能であること、すなわち高感度であることが最優先である。実際、EUV用レジスト材料においても、より高感度なレジスト材料の開発が急務とされている。
本セミナーにおいて、露光システムに対応したレジスト材料の分子設計指針から、最新のEUV用レジスト材料の開発動向から、次世代の分子設計指針まで解説する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/2/6 | ポリウレタンの材料設計と構造・物性の制御と劣化対策 | オンライン | |
| 2026/2/13 | ケミカルリサイクル拡大に向けた分解性を有するプラスチック材料設計技術 | 東京都 | 会場 |
| 2026/2/19 | リサイクル対応に向けたプラスチックの材料設計および成形加工技術 | オンライン | |
| 2026/2/24 | 重合反応の基礎・応用 | オンライン | |
| 2026/2/25 | シール技術 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2026/2/25 | シリコーン製品の企画・開発に向けた材料・製品特性の理解と顧客ニーズに対応する開発戦略 | オンライン | |
| 2026/3/2 | PFAS規制の最新動向および代替技術の開発動向 | オンライン | |
| 2026/3/10 | 重合反応の基礎・応用 | オンライン | |
| 2026/3/17 | シリコーン製品の企画・開発に向けた材料・製品特性の理解と顧客ニーズに対応する開発戦略 | オンライン | |
| 2026/3/19 | 半導体封止材用エポキシ樹脂と硬化剤・硬化促進剤の種類・特徴および新技術 | オンライン | |
| 2026/4/23 | エポキシ樹脂の耐熱性向上と機能性両立への分子デザイン設計および用途展開における最新動向 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2009/1/16 | 世界のエンジニアリング樹脂 |
| 2008/4/24 | ポリイミドの高機能化と応用技術 |
| 2007/7/13 | 樹脂の硬化度・硬化挙動の測定と評価方法 |
| 2004/9/1 | ポリエステル樹脂総合分析 |
| 2002/3/1 | 新しい機能性モノマーの市場展望 |