技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。
フォトレジスト材料は、ポジ型、ネガ型、化学増幅型、非化学増幅型などとして分類され、i線、G線、KrF、ArF、EB、およびEUV露光用レジスト材料として活用されている。高感度化をすること、すなわち、露光量を少なくさせることは、短時間でパタンニング処理を可能にし、生産性を上げることを可能にする。しかし、それだけではなく、レジストパタンの解像性を上昇させ、レジストパタンのラフネスの改善にも大きく貢献することになる。次世代レジストシステムとして、EUV露光システムが実用化段階に入っているが、最も研究開発が必要とされているのは、EUV用のレジスト材料の開発である。現在のところ、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるとされるレジスト材料は未だない。新しいレジスト材料の開発は、様々なレジスト特性を評価検討する必要があるが、まずは少ない露光量でパタンニングが可能であること、すなわち高感度であることが最優先である。実際、EUV用レジスト材料においても、より高感度なレジスト材料の開発が急務とされている。
本セミナーにおいて、露光システムに対応したレジスト材料の分子設計指針から、最新のEUV用レジスト材料の開発動向から、次世代の分子設計指針まで解説する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/12/17 | エポキシ樹脂の基礎と用途別の要求特性および設計手法 | オンライン | |
| 2025/12/18 | UV硬化とEB硬化の基礎と技術比較および応用技術 | オンライン | |
| 2025/12/18 | プラスチック射出成形の基礎知識とトラブルシューティング | オンライン | |
| 2025/12/18 | 架橋剤を使うための実際的知識 | オンライン | |
| 2025/12/18 | 乳化重合・ソープフリー乳化重合によるポリマー微粒子の合成と粒子径・形状制御 | オンライン | |
| 2025/12/18 | ポリイミドの基礎とポリイミド系材料の低誘電率化・低誘電正接化 | オンライン | |
| 2025/12/18 | エポキシ樹脂の基礎と用途別の要求特性および設計手法 | オンライン | |
| 2025/12/18 | チクソ性の基礎、制御、測定・評価と実用系への活用方法 | オンライン | |
| 2025/12/19 | UV硬化とEB硬化の基礎と技術比較および応用技術 | オンライン | |
| 2025/12/19 | プラスチックフィルムの種類、添加剤、 製膜、応用、評価 | オンライン | |
| 2025/12/19 | シランカップリング剤の基礎、反応メカニズム、各種応用、その評価 | オンライン | |
| 2025/12/19 | 二軸スクリュ押出機を用いたリアクティブプロセシング技術の基礎から応用へ | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/12/19 | 架橋剤を使うための実際的知識 | オンライン | |
| 2025/12/19 | 高剪断成形加工技術の原理・新材料創製・量産化 | オンライン | |
| 2025/12/19 | 架橋技術によるポリマーの性能向上と物性・特性改良方法 | オンライン | |
| 2025/12/19 | マテリアルズ・プロセスインフォマティクスの基礎とポリマー材料設計への応用 | オンライン | |
| 2025/12/22 | 高感度化フォトレジスト材料の合成・設計・開発技術 | オンライン | |
| 2025/12/22 | 光学用透明樹脂の基礎、屈折率制御および光吸収・散乱メカニズムと高透明化 | オンライン | |
| 2025/12/22 | 熱分析の基礎、応用と測定・解析技術 | オンライン | |
| 2025/12/22 | 高剪断成形加工技術の原理・新材料創製・量産化 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2009/1/16 | 世界のエンジニアリング樹脂 |
| 2008/4/24 | ポリイミドの高機能化と応用技術 |
| 2007/7/13 | 樹脂の硬化度・硬化挙動の測定と評価方法 |
| 2004/9/1 | ポリエステル樹脂総合分析 |
| 2002/3/1 | 新しい機能性モノマーの市場展望 |