技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。
フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、それぞれに対応したレジスト材料が開発されてきた。現在、極端紫外線 (EUV) 露光システムが実用段階として運用されようとしている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料が開発されていない。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/12/23 | 熱可塑性エポキシ樹脂の基礎と応用 | オンライン | |
| 2024/12/24 | ポリマーナノコンポジットの基礎と電気絶縁特性・熱伝導性の向上 | オンライン | |
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| 2024/12/25 | プラスチック廃棄、海洋汚染防止、再生プラスチック、PFAS問題に関する国内外規格規制の動向と対応 | オンライン | |
| 2024/12/25 | 加工の基礎と機械加工技術 | オンライン | |
| 2024/12/25 | フィルムの延伸・分子配向の基礎、過程現象の解明と構造形成、物性発現、評価方法 | オンライン | |
| 2024/12/26 | 架橋剤を使うための総合知識 | オンライン | |
| 2024/12/27 | 架橋剤を使うための総合知識 | オンライン | |
| 2024/12/27 | 静的・動的光散乱法を中心とした粒径計測の基礎と応用 | オンライン | |
| 2025/1/6 | チクソ性の基礎、制御、測定・評価と実用系への活用方法 | オンライン | |
| 2025/1/7 | 高感度化フォトレジスト材料の合成・設計・開発技術 | オンライン | |
| 2025/1/8 | 高分子・ポリマー材料の合成、重合反応の基礎、プロセスと工業化・実用化の総合知識 | オンライン | |
| 2025/1/8 | UV硬化型接着剤の設計・開発と技術動向 | オンライン | |
| 2025/1/10 | ゴム材料のトライボロジー入門 | オンライン | |
| 2025/1/10 | 欧州連合 (EU) の食品包装規制と安全問題の最新動向 | オンライン | |
| 2025/1/15 | 高分子の劣化・変色メカニズムと対策技術、評価方法 | オンライン | |
| 2025/1/15 | 高分子重合反応の基礎とモノマー・開始剤の選定、プロセス最適化 | オンライン | |
| 2025/1/15 | 分子シミュレーションによる高分子材料の内部構造と破壊メカニズムの解析 | オンライン | |
| 2025/1/16 | プラスチック・樹脂における耐衝撃性向上技術と衝撃特性解析 | オンライン | |
| 2025/1/17 | 高分子の結晶化メカニズムと解析ノウハウ | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2008/4/24 | ポリイミドの高機能化と応用技術 |
| 2007/7/13 | 樹脂の硬化度・硬化挙動の測定と評価方法 |
| 2004/9/1 | ポリエステル樹脂総合分析 |
| 2002/3/1 | 新しい機能性モノマーの市場展望 |