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水の動きで読み解く半導体洗浄のポイント

水の動きで読み解く半導体洗浄のポイント

~大口径ウエハと微細パターンの扱い~
オンライン 開催

視聴期間は2024年7月8日〜15日を予定しております。
お申し込みは2024年7月12日まで承ります。

概要

本セミナーでは、半導体洗浄の基礎から解説し、水の動きを一つの軸として半導体洗浄が直感でわかるようになるポイント、半導体洗浄にまつわる課題と対策・未然防止策を解説いたします。

開催日

  • 2024年7月12日(金) 10時30分 2024年7月15日(月) 16時30分

受講対象者

  • 半導体洗浄技術を構成している要素・要点を知りたい技術者
  • 半導体洗浄技術の課題を理解しているが、その解決方法を模索している技術者

修得知識

  • 先端材料の洗浄方法を構成する要素
  • 半導体にとって「清浄」とは何か
  • キレイにするための表面の取扱い方
  • 洗浄の水流と気泡の作り方、使い方と整え方
  • 微細パターン洗浄条件の盲点

プログラム

 水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までポイントを1日で説明します。
 半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを意識し、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうする操作なのかが直感で分かります。ここでは、さまざまな薬液の役割を紹介し、乾燥の要点にも触れた後、身近な流れの動画を見て感覚をつかみます。次に、大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に理解します。超音波や手動操作で生まれる流れについても、流れと気泡の動画を見るとイメージが明確になります。今後、極めて微細なパターンを洗浄する場合に見落としがちな事についても示して行きます。
 最後には、足元をすくわれた時の視点と対策のポイントを整理します。「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して受講すると、特に効果があります。

  1. 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?
  2. 洗浄の4要素:力学が最も大切である理由
    • 温度
    • 時間
    • 化学
    • 力学
  3. 半導体の洗浄に特有のこと (洗浄で実現したい状態)
  4. 先端技術情報 (半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)
  5. 半導体洗浄の基礎現象 (薬液と流れの効果)
    1. 化学で汚れを動かす操作
      • 薬液の働き (付着・脱離・引き剥がす) と乾燥
    2. 力学で汚れを動かす操作
      • 流れ
      • 拡散
    3. 装置内流れの種類
      • 完全混合
      • 押出流れ
      • 境界層
    4. 流れの可視化観察 (「流れ」と「拡散」の感覚を動画で)
  6. 洗浄機内の流れと反応
    1. 枚葉式洗浄機
      1. 水の流れの実例 (実機の観察動画とシミュレーションの例)
      2. ノズルのスイングを続ける工学的理由
      3. 化学反応の例 (表面反応もここまで分かる)
    2. バッチ式洗浄機
      1. 水の流れの実例 (実機の観察動画とシミュレーションの例)
      2. 水流を低コストで最適化した事例 (入口と出口を変える)
      3. 上下揺動で流れを巻き込む
    3. 超音波の働き
      1. 水と気泡の動きの実例 (実機の観察動画)
  7. 洗浄結果の評価方法
  8. 狭い空間の洗浄 (盲点と工夫)
  9. まとめ:困った時の視点と対策 (境界層を壊そう!)
  10. まとめ:困らないように (地球環境は壊さない!)
    • 質疑応答

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

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「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)

アーカイブ配信セミナー

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2024年7月8日〜15日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
本セミナーは終了いたしました。

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