技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
(2024年1月24日 10:30〜12:00)
昨今、私たちは新たなデジタル社会と対面している。世の中で頻繁にその言葉を耳にするIOT、AI、Soceity5.0等の発展に対し、さらなるデバイスの高速化、大容量化、省電力化が求められている。そのために不可欠なのがリソグラフィの微細化であり、その実現には、フォトレジスト材料の開発が必須である。究極の微細化であるEUVリソグラフィ用フォトレジスト材料の開発に関し、その歴史、背景を交え解説する。
(2024年1月24日 13:00〜14:30)
(2024年1月24日 14:45〜16:15)
EUVリソグラフィにおいて、次世代サブ10 nmHP用 (オングストロームノード用) として期待されるメタル含有レジストの反応機構と課題について解説します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/5/29 | ポリマーにおける相溶性・相分離メカニズムと目的の物性を得るための構造制御および測定・評価 | オンライン | |
| 2025/5/29 | 光学用透明樹脂の基礎、屈折率制御および光吸収・散乱メカニズムと高透明化 | オンライン | |
| 2025/5/29 | 光学用透明樹脂の基礎と光学特性制御および高機能化 | オンライン | |
| 2025/5/30 | 発泡成形のメカニズム、気泡コンロトール、測定、応用 | オンライン | |
| 2025/5/30 | プラスチックの強度・破壊特性と製品の強度設計および割れトラブル原因究明と対策 | オンライン | |
| 2025/5/30 | UV硬化樹脂の硬化度・物性の測定評価と硬化不良・密着不良などのトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/5/30 | 流動場での、高分子の結晶化挙動の基礎と成形プロセス中の結晶化解析事例 | オンライン | |
| 2025/5/30 | 物理学で理解するEUVリソグラフィの基礎・応用・課題と将来展望 | オンライン | |
| 2025/5/30 | 破壊工学の基礎と高分子材料での実践 | オンライン | |
| 2025/5/30 | 溶融紡糸の基礎と工業生産技術及び生産管理の実践 | オンライン | |
| 2025/6/2 | 射出成形金型・樹脂製品設計の基礎および不良対策 | オンライン | |
| 2025/6/3 | 半導体露光技術の発展、およびEUV露光装置の現状と将来展望 | オンライン | |
| 2025/6/4 | 製品設計に役立つゴム材料の勘所と最適設計手法 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/6/5 | 樹脂のレオロジー特性の考え方、成形加工時における流動解析の進め方 | オンライン | |
| 2025/6/5 | エポキシ樹脂のフィルム化と接着性の付与技術とその応用 | オンライン | |
| 2025/6/5 | 高分子の絶縁破壊メカニズムとその劣化抑制技術 | オンライン | |
| 2025/6/6 | プラスチック製品の強度設計 | オンライン | |
| 2025/6/6 | 樹脂用添加剤 超入門 | 東京都 | 会場 |
| 2025/6/6 | 光学用透明樹脂の基礎と光学特性制御および高機能化 | オンライン | |
| 2025/6/9 | 高分子複合材料のレオロジーとメカニズムに基づく材料設計 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2008/4/24 | ポリイミドの高機能化と応用技術 |
| 2007/7/13 | 樹脂の硬化度・硬化挙動の測定と評価方法 |
| 2004/9/1 | ポリエステル樹脂総合分析 |
| 2002/3/1 | 新しい機能性モノマーの市場展望 |