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半導体製造プロセス基礎講座

半導体製造プロセス基礎講座

~基本メカニズムと最適化のポイント~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、半導体デバイス製造に携わる技術者の方々を対象に、半導体プロセス技術、材料技術、最適コントロール法、トラブル対策など各基本プロセスの主要技術や最適化事例について概説いたします。

開催日

  • 2022年12月20日(火) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • 半導体デバイスに関わる技術者
  • 製造装置、素材、材料分野の技術者
  • 半導体プロセス分野の技術管理および設計担当者
  • デバイスプロセスの基礎を学びたい方

修得知識

  • 半導体プロセス技術
  • 半導体材料技術
  • 最適コントロール法
  • トラブル対策

プログラム

 近年、世界の半導体市場は急速に拡大しており、高機能デバイスの製造プロセスには高い技術水準と競争力が求められています。これらのプロセス技術の基礎を幅広く理解することにより、各種トラブルへの対処および効率的な技術開発が可能となり、歩留まり改善や生産性向上へと繋がると考えます。
 本セミナーでは、半導体デバイス製造に携わる技術者の方々を対象に、各基本プロセスの主要技術や最適化事例について概説します。初めて半導体プロセスに関わる方々の入門講座としても適しています。本セミナーでは、受講者の方々の日頃のトラブル相談・技術開発相談にも応じます。

  1. 各種半導体デバイスの基礎
    • 半導体産業の特徴
    • 各種デバイス概論
  2. プロセス技術の最適化
    • 回路設計
    • シフト量
  3. 半導体基板
    • 単結晶
    • 多結晶
    • 薄膜
  4. 前処理
    • クリーンネス
    • RCA 洗浄
  5. 酸化
    • Deal-Grove理論
    • 酸化種
  6. 不純物導入
    • 拡散法
    • イオン注入法
  7. 薄膜形成
    • めっき
    • 蒸着
    • スパッタ
    • LP-CVD
  8. リソグラフィー
    • レジスト技術
    • ウエット/ドライエッチング
  9. 配線技術
    • 多層配線
    • マイグレーション
  10. 保護膜形成
    • CMP技術
    • 透湿性
  11. 実装技術
    • Pbフリーはんだ
    • ワイヤーボンディング
  12. パッシベーション
    • セラミック
    • モールド
  13. 信頼性評価
    • 活性化エネルギー
    • 寿命評価
  14. クリーンルーム管理
    • 浮遊微粒子
    • 動線制御
  15. プロセスシミュレーション
    • コーティング
    • 気流
    • 応力集中
    • 電流分布など
  16. 質疑応答 (日頃のトラブル・研究開発相談にも応じます)

参考資料

  • 塗膜トラブル Q&A 事例集 (トラブルの最短解決ノウハウ)
  • 表面エネルギーによる濡れ・付着性解析 (測定方法)

講師

  • 河合 晃
    長岡技術科学大学
    名誉教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)
複数名
: 18,000円 (税別) / 19,800円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

シーエムシーリサーチからの案内をご希望の方は、割引特典を受けられます。
また、2名様以上同時申込で全員案内登録をしていただいた場合、1名様あたり半額の 18,000円(税別) / 19,800円(税込)となります。

  • Eメール案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 36,000円(税別) / 39,600円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 36,000円(税別) / 39,600円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 54,000円(税別) / 59,400円(税込)
  • Eメール案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)

アカデミック割引

  • 1名様あたり 24,000円(税別) / 26,400円(税込)

学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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