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薄膜の剥離メカニズムと密着性改善

薄膜の剥離メカニズムと密着性改善

~スパッタ・蒸着膜の剥離トラブルに対処する際に知っておくべきこと~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基礎から解説し、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳解いたします。

開催日

  • 2022年7月22日(金) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • 薄膜に関する新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方
  • 品質管理等で薄膜の密着性評価技術の本質を理解したい方
  • 薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい初学者、中堅技術者

修得知識

  • 薄膜の剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
  • 薄膜の応力や界面などの微視的構造の基礎知識
  • 剥離の観察方法
  • 薄膜の剥離トラブルに直面した時の具体的な対処手順
  • 薄膜の様々な剥離モードに応じた、材料設計の考え方

プログラム

 本講座では、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、具体的な問題点とその解決のキーポイントの例示→その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→具体例などを使ってより詳しい解説、という順で平易に解説します。
 特に、界面や表面、応力影響、剥離・破壊の基本知識、密着性改善の考え方、密着性の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、樹脂コーティング膜等についてもいくつかの実例を示しながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。
 本講座は、初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。

  1. なぜ剥離が発生するのか
    • Introduction 薄膜の剥離トラブルの解決に苦労する理由
      1. 膜剥離を理解・対策するための3つのポイントとは
      2. 異種材料間の界面を観察してみよう:
        • 剥離トラブルを避けて、密着性を向上させるためには何をみるべきか?
      3. 異種材料界面がくっついている根本的な要因は何か?
      4. 密着と粘着・接着との違い
      5. 薄膜が剥離するとは?: 負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および剥離・破壊のモード
        • 引張/圧縮力の負荷
        • ヒートサイクル
        • 高温保持による違いの理解
      6. なぜ膜応力が剥離へ大きな影響を与えるのか?
      7. 薄膜の剥離・破壊を理解し、剥離トラブルに対処する直感的イメージ
  2. 密着性をどのように評価するか
    • Introduction 密着性を評価しても困るケースの具体例
      1. 密着性を評価したいがどの方法、条件を選べばいいのか:測定条件の影響と測定値の持つ意味
      2. 様々な密着性評価方法の特長と注意点:テープテスト・3点曲げテスト
      3. 密着性評価においてスクラッチ法が役立つ3つの理由:得られる情報と密着性改善につながる材料設計への活かし方
      4. 樹脂膜・樹脂基材でのスクラッチテストによる密着性評価
  3. 密着性をどうやって改善するか
    • Introduction よくある剥離トラブル時の対応における失敗例
      1. 剥離を起こさせない条件を密着性向上の対策につなげる効果的な考え方
      2. 異種材料界面および表面/界面の改質手法
      3. ケーススタディ:剥離要因を絞込み、密着性を改善する手順の具体例
  4. まとめ
    • 質疑応答

講師

  • 岩村 栄治
    ペルノックス 株式会社 開発センター
    センター長

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 34,200円 (税別) / 37,620円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,200円(税別) / 37,620円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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