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プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、及び量産化対応

プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、及び量産化対応

~装置メーカーの立場から、プラズマCVD装置の技術/課題と対策を解説~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策を中心に紹介いたします。

開催日

  • 2021年6月25日(金) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • プラズマCVDの応用分野の技術者、研究者
    • 太陽光発電
    • ハイバリア成膜
    • 親水・撥水
    • ディスプレイ
    • 集積回路
    • ミニマルファブなど

修得知識

  • プラズマCVD装置の基礎
  • プラズマCVDの開発技術、周辺技術
  • プラズマCVD技術の課題と対策

プログラム

 当社は、1989年から「研究開発用半導体一貫製造システム」の開発を開始して、装置メーカーとして、30年以上の実績・経験があります。この講演では、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策を中心にご紹介いたします。

  1. プラズマCVD装置の基本構造
    1. プラズマCVD装置の構成
    2. 反応チャンバーの基本構成
  2. プラズマCVD装置の用途
    1. 適用アプリケーション
  3. プラズマCVD装置のプロセス性能
    1. SiH4系SiO2膜
    2. SiH4系SiN膜
    3. SiH4系SiON膜
    4. SiH4系a – Si膜
    5. SiH4系SiC膜
    6. TEOS系SiO2膜
    7. 液体ソース系SiN膜
  4. 開発用装置と量産用装置
    1. プラットフォーム
  5. プラズマCVD装置の課題と対策
    1. 高レート化
    2. プロセスの再現性
    3. 低パーティクル
    4. チャンバークリーニング
    5. ウェーハ温度の低温化
    6. ウェーハ大口径化 など
    • 質疑応答

講師

  • 金尾 寛人
    SPPテクノロジーズ 株式会社 製造部
    次長

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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