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プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生機構と制御

プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生機構と制御

東京都 開催 会場 開催

概要

本セミナーでは、プラズマエッチングについて基礎から解説いたします。
歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージの制御のために必要な知識を網羅的に解説いたします。

開催日

  • 2018年10月31日(水) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • プロセス・デバイス開発に関連する業務に従事されている方
  • デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
  • プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識
  • 企業などでプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方
  • プロセス設計に従事されている方
  • デバイス信頼性評価に従事されている方など

修得知識

  • デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
  • プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識

プログラム

 現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマプロセスは重要な役割を担っている。例えば、プラズマエッチングにおいては、想定外のプラズマとデバイス (固体) との相互作用が、デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす。この現象は、プラズマ誘起ダメージと呼ばれ、製造装置設計、プロセス設計、デバイス設計、回路設計において大きな問題となっている。それら現象の基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し、制御することは困難である。
 本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージをとりあげる。近年のデバイスの3次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や、デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル、材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル、およびその制御について議論する。

  1. プラズマとは
    1. 現代社会におけるプラズマ技術の応用例
    2. プラズマを理解するためのパラメータ
  2. プラズマエッチングとは
    1. 超微細半導体デバイスの歴史 (加工技術を中心に)
    2. 超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割
    3. プラズマエッチングの基礎 (反応表面の構造について)
  3. プラズマエッチングにおける技術課題について
    1. 加工形状異常に代表される課題例
    2. 新しい課題~プラズマ誘起ダメージ
  4. プラズマ誘起ダメージについて
    1. 3つのダメージ発生機構
    2. プラズマ誘起ダメージによる歩留まり低下とデバイス信頼性劣化
    3. イオン衝撃によるプラズマ誘起ダメージモデル
    4. デバイス劣化モデル
    5. 3次元構造における新しいプラズマ誘起ダメージ機構
  5. 今後の展望~何がわかっていて、何がわからないのか?
    1. 原子レベルでのプラズマ誘起ダメージの理解に向けて
    2. プラズマ誘起ダメージを制御 (最適化?) する
    3. プラズマ誘起ダメージはどうなるのか?
    • 質疑応答・名刺交換

講師

  • 江利口 浩二
    京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻
    ​教授

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

4F 第1グループ活動室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,000円 (税別) / 41,040円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 21,600円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名様以上でお申込みの場合、
    1名あたり 20,000円(税別) / 21,600円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,040円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 43,200円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 64,800円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
本セミナーは終了いたしました。
講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。
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