第1部 洗浄工程管理のポイント・洗浄剤濃度管理とコンタミ管理

(2015年4月9日 10:30〜12:00)

洗浄ラインを安定して運用するには、使用する洗浄剤・洗浄装置と同様に、洗浄工程の管理が性能を左右する。工程管理の一環として洗浄液濃度や液中のコンタミをどのようにモニタリング・調整するかを説明する。

1. 会社紹介
   1. 製品ラインナップ
   2. グローバル展開
   3. 技術サポート
2. 洗浄剤分類
   1. 溶剤系
   2. 水系
   3. 無機系その他
3. 溶剤系洗浄剤の問題点
   1. 溶剤系の分類ハロゲン系・アルコール系・炭化水素系等
   2. 溶剤の安全・環境性
   3. VOC規制の状況
4. 水系洗浄の定義と技術
   1. 水系定義の分類
   2. 界面活性剤洗浄のメカニズム
   3. MPC洗浄のメカニズム
   4. その他
5. 洗浄液の選定方法
   1. 洗浄性
   2. 材料適合性
   3. プロセス要望・設備選定
6. 洗浄液ライン管理項目と測定方法
   1. 濃度・水分
   2. pH
   3. 電気伝導度
   4. Brix
   5. その他の分析
7. 洗浄工程管理項目
   1. 温度
   2. 洗浄剤成分
   3. コンタミ成分
   4. 時間
   5. 撹拌
8. 洗浄液バスライフ判断
   1. 液分析からの推定
   2. 被洗浄物のチェック
   3. 事前試験によるデータ取り
9. 洗浄性向上・バスライフ延長
   1. 洗浄液パラメータ調整
   2. 工程・装置上の工夫
• 質疑応答・個別質問・名刺交換

第2部 洗浄後に残る残存汚れの定量評価方法と評価事例

(2015年4月9日 12:45〜14:15)

第3部 パーティクルカウンタによる洗浄プロセスの管理・評価

(2015年4月9日 14:30〜16:00)

1. 洗浄プロセスにおける液中ナノ粒子測定
   1. パーティクルカウンタによる洗浄プロセスの管理評価
   2. 市場の要求
   3. 液中ナノ粒子測定の現状
2. 液中パーティクルカウンタ
   1. 液中パーティクルカウンタの原理・特性
      1. 純水、薬液中粒子用液中パーティクルカウンタ
      2. ポリマー溶液用液中パーティクルカウンタ
   2. 液中パーティクルカウンタに関わる規格関係
      1. ISO/ISO
      2. SEMI規格
      3. 粒子脱離法による洗浄度評価手法
3. 洗浄プロセスにおける粒子測定
   1. 測定試料のサンプリング方法
   2. サンプリング測定における課題と対応
   3. 測定例と測定結果の評価
• 質疑応答・個別質問・名刺交換