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真空成膜技術の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング

真空成膜技術の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング

～その成膜トラブル・不良は「成膜装置」に対する理解不足が原因ではありませんか～
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    概要

    本セミナーでは、真空の基礎を学ぶとともに、具体的なトラブルや失敗の原因および対策について解説いたします。

    開催日

    • 2026年11月19日(木) 10時00分 ～ 17時00分

    受講対象者

    • 真空システムの設計・製造・運転に関わる現場担当者

    修得知識

    • 真空の基礎
    • 真空材料の特性
    • 真空材料の加工
    • 真空システムのトラブルと対策

    プログラム

    　成膜技術は社会インフラを変え、人々の日常生活に大きな恩恵を与えているだけでなく、科学技術そのものの発展を加速し続けている。しかし、その広範で高度な技術がために、同じ成膜技術者であっても、少し手法や製品が変わるとその原理や特性についてまったく知らないことが多い。また、自ら扱っている装置であっても、表面上の付き合いに留まり、機器をブラックボックス化して、日常の運転・保守を続けていることが多い。しかし、このような日常にこそ、トラブルと事故の遠因が潜んでいる。
    　この講義では、真空環境を使った各種成膜装置の背景にある物理を基礎から再認識してもらい、後半では薄膜作成におけるトラブルと失敗をその対策とともに紹介する。

    1. 基礎の無理解とブラックボックス化が起こす成膜絡みの大事故
      1. 成膜作業が絡む大事故例
      2. リスクマネジメントとハインリッヒの法則
    2. 成膜と真空の密な関係
      1. 成膜は目的、良い真空はその手段の1つ
      2. 何故、良い成膜に良い真空が必要なのか?
      3. そもそも良い真空とはどんなものか?
      4. 成膜室の真空が良いだけでは良い膜ができない
    3. 無駄なトラブルと事故を避けるため、成膜に関連が深い真空工学をちょこっと復習
      1. 気体分子運動論と気体の性質
      2. 気体の流れと真空排気
      3. 真空排気の理想と現実
    4. これだけは押さえたい、2時間で学ぶ成膜技術の基礎のキ
      1. 成膜のおける重要な鍵
      2. 原料物質 (粒子) への作用エネルギーの大きさで分類する成膜方法
      3. 成膜の素過程
      4. スパッタリングを少し深く理解してみよう
      5. 反応性スパッタは本当にPVDの1つとして良い?
        • 沢山あり過ぎ混沌とする成膜法の分類
      6. 原料粒子への作用エネルギーで分類を再定義
      7. 薄膜の育ち方とその条件
      8. こんなにある薄膜の評価法
    5. 成膜装置におけるトラブル事例と解決法
      1. デタラメな機械加工や接合にダマされるな
      2. 不純物と維持費抑制に必須な装置内面の表面処理や表面改質
      3. 絶対避けたい擬似リーク
      4. オイルフリー排気系の落とし穴
      5. 成膜法に依っては必須のベーキング
      6. 吸っても安全な成膜原料ガスは1つもない
      7. 成膜にまつわるモノ (素材、部品、装置等) に素手で触れるのはどれだけの悪さなのか?
      8. パーティクルはどこからどう生まれる?
      9. 成膜中、陰で進行している汚染ガス放出とパーティクルの生成
      10. 圧力測定には全圧計だけでは不十分
        • 残留ガス質量分析計 (プロセスガスモニタ) が解決する膜作り
      11. 大面積化、ハイパワー化の必要条件と功罪
      12. 成膜真空容器に鎧を付けよう
      13. 汚染を引き起こさない真空成膜装置の正しい扱い方
    6. 最近話題の成膜法 (HiPIMSやSpatial ALD等)
    7. まとめと質疑応答
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    主催

    サイエンス＆テクノロジー 株式会社
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    お問い合わせ

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    受講料

    1名様
    : 42,000円 (税別) / 46,200円 (税込)
    複数名
    : 27,500円 (税別) / 30,250円 (税込)

    複数名受講割引

    • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 27,500円(税別) / 30,250円(税込) で受講いただけます。
      • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
      • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 55,000円(税別) / 60,500円(税込)
      • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 82,500円(税別) / 90,750円(税込)
    • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
    • 請求書は、代表者にご送付いたします。
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    • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
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