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クライオエッチングの反応メカニズムと高アスペクト比加工技術

クライオエッチングの反応メカニズムと高アスペクト比加工技術

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、プラズマエッチングの基本原理から、クライオエッチング導入の背景、反応メカニズムの解明ならびに最新の研究動向について解説いたします。

開催日

  • 2026年3月16日(月) 13時00分16時00分

修得知識

  • ドライエッチングの基礎、原理
  • ドライプロセスの要件
  • 高アスペクトエッチング、クライオエッチングの原理と各分野への応用
  • クライオエッチングの反応メカニズム
  • クライオエッチングの最新動向

プログラム

 半導体集積回路デバイスの製造において、プラズマを用いた微細加工、すなわちプラズマエッチングは不可欠なプロセス技術である。トランジスタ、DRAM、NANDに代表されるデバイスでは、従来の微細化および高積層化 (スケーリング) が進められてきた。しかし近年、既存技術には物理的・技術的な限界が顕在化しつつある。
 そこで、基板温度を極低温領域まで低下させ、ウェハ表面における反応種の物理吸着および表面拡散を制御するクライオエッチング (cryogenic etching) が注目されている。
 本講演では、プラズマエッチングの基本原理から、クライオエッチング導入の背景、反応メカニズムの解明、ならびに最新の研究動向について解説する。
 プラズマプロセス分野以外の方でも理解しやすいよう、ドライエッチングの基礎原理と知識から解説する。ドライプロセスの要件を理解することより、高アスペクトエッチング、クライオエッチングの原理と各分野への応用を説明する。最後、クライオエッチングの反応メカニズムと最新動向を紹介する。

  1. エッチング加工とは
    1. 等方性エッチング
    2. 異方性エッチング
  2. ドライプロセスエッチング
    1. 低温プラズマの基礎原理と知識
    2. プラズマエッチングと装置
    3. プラズマエッチングメカニズム
    4. 高アスペクトエッチング
  3. クラオイエッチング
    1. クラオイエッチングとは
    2. クラオイエッチングの基礎原理
    3. クラオイエッチングの応用例
  4. クラオイエッチングによる高アスペクト比加工
    1. クライオシリコン深掘エッチング
    2. クライオチャネルホール深掘エッチング
  5. クラオイエッチングの反応メカニズムと加工技術の最新動向
    1. クラオイエッチングにおける気相反応
    2. クラオイエッチングにおける表面反応
    3. クライオ原子層エッチング
    • 質疑応答

講師

主催

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お問い合わせ

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受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 160,000円(税別) / 176,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 190,000円(税別) / 209,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

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  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
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    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
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