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蕭 世男 (HSIAO Shih-Nan)
所属
名古屋大学
低温プラズマ科学研究センター
役職
特任教授
学位
博士 (工学)
経歴
2006年8月〜2011年3月 逢甲大学 材料科学
2010年1月〜2011年1月 アルゴンヌ国立研究所
2011年3月〜2014年7月 国立放射光研究センター 研究員
2011年7月 博士(工学)(逢甲大學)
2014年8月〜2015年8月 清華大学 研究員
2015年9月〜2018年9月 Globe Union Industrial Cooperation 研究員
名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター 半導体ナノプロセス研究部門 特任教授
学協会
応用物理学会
American Vacuum Society (
AVS
)
講演するセミナー
会場
開催方法
2026/3/16
クライオエッチングの反応メカニズムと高アスペクト比加工技術
オンライン