技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、光デバイス適用に向けた加工プロセスの構築、微細加工技術について解説いたします。
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、半導体微細加工技術を発展させて、基板上に回路だけでなくセンサや構造体あるいはアクチュエータなど多様なものを形成し、小形で高度な機能を持つ高付加価値の部品を実現する技術です。その中で、光MEMSは、主にマイクロミラーを応用したディスプレイや光スイッチ、光スキャナなどとして活用されています。最近ではマイクロレンズアレイに代表されるマイクロオプティクスの作製技術としても注目されています。
本講演では、光デバイス向けのMEMS要素、加工技術とその応用について解説します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/3/30 | プラズマプロセスの診断・モニタリングとそれに基づくプロセスの最適化 | オンライン | |
| 2026/4/3 | EUVレジスト/メタルレジストの要求特性、最新技術動向と課題、対策 | オンライン | |
| 2026/4/3 | 半導体用レジストの基礎とプロセスの最適化およびEUVリソグラフィ技術・材料の最新動向 | オンライン | |
| 2026/4/15 | 計算化学からみたエッチングガスの電子物性と解離 | オンライン | |
| 2026/4/17 | EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術 | オンライン | |
| 2026/4/23 | 光学薄膜技術の総合知識と最新動向 | オンライン | |
| 2026/4/24 | 半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2026年春版) | オンライン | |
| 2026/5/4 | 光学薄膜技術の総合知識と最新動向 | オンライン | |
| 2026/5/15 | 半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2026年春版) | オンライン | |
| 2026/5/21 | プラズマエッチングにおけるパーティクル・プロセス異常の検出とプラズマ耐性材料とその評価技術 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/3/31 | エッチングの高度化と3次元構造の作製技術 |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
| 2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
| 2021/4/30 | 封止・バリア・シーリングに関する材料、成形製膜、応用の最新技術 |
| 2020/7/31 | 生体情報センシングと人の状態推定への応用 |
| 2020/4/30 | 生体情報計測による感情の可視化技術 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
| 2017/7/27 | ウェアラブル機器の開発とマーケット・アプリケーション・法規制動向 |
| 2017/6/30 | 生体情報センシングとヘルスケアへの最新応用 |
| 2014/6/30 | マイクロセンサ 技術開発実態分析調査報告書(CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 2010/2/25 | コーティング材料のコントロールと添加剤の活用 |
| 2009/4/22 | MEMSデバイス総論 【新装版】 |