技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書

特許情報分析 (パテントマップ) から見た

EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書

EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書の画像

概要

本調査報告書は、「EUV (極端紫外線) 露光装置」に関するパテントマップ、パテントチャートを作成し、技術開発動向、最近の注目技術など具体的なデータを提供しております。
EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書のCD-ROM版 もご用意しております。

目次

はじめに

この分野の技術開発の全貌を把握すること。

  • 1.この分野に進出している企業等 (出願人) から見た技術開発実態について
    • 過去約11年間における出願件数の上位企業等はどこで、どのような出願傾向にあるか?
    • 最近約3年間の出願件数の成長率の高い企業等はどこか?
    • 上位企業における技術開発者 (発明者) の投入状況はどうか?
    • 上位企業等における過去約11年間と最近約3年間の件数シェアの変化はどうか?
    • 企業等の新規参入、撤退状況はどうか?
    • 新技術開発へ意欲 (新規分類数の増加) 的な企業はどうか?
    • 上位企業等における共同開発の実態 (共同出願関係) はどうか?
  • 2.特許分類 (FI) から見た技術開発実態、及び
  • 3.特許分類 (Fターム) から見た技術開発実態について
    • 出願件数の多い開発技術は何であり、どのような傾向にあるか?
    • 最近盛んになった開発技術 (最近約3年間の出願件数の成長率の高い分類) は何か?
    • 各開発技術 (特許分類) に、どのくらいの技術開発者 (発明者) が投入されているか?
    • 新規に開発が開始された技術 (分類) 、既に撤退したと思われる技術 (分類) に何があるか?
  • 4.この分野の技術開発に着手している技術開発者 (発明者) から見た技術開発実態について
    • 過去約11年間における出願件数上位の技術開発者は誰であるか?
    • 最近約3年間の出願件数の成長率の高い技術開発者は誰であるか?
  • 5.この分野の技術開発の内容 (要約内、請求の範囲内キーワード) から見た技術開発実態について
    • 最近 (約5年間) に出現した新規技術用語 (ニューエントリーキーワード) は何か?
  • 6.この分野の技術開発を企業 (出願人) と企業 (出願人) 、技術開発者 (発明者) と技術開発者 (発明者) 、
    • 企業 (出願人) と技術分類 (FI、Fターム) 、技術開発者 (発明者) と技術分類 (FI、Fターム) の両面から見た技術開発実態について
    • 出願件数上位20出願人が、どこと共同開発しているか?
    • 出願件数上位50出願人が、出願件数上位50分類の何処に力を入れているか?
    • 出願件数上位50発明者が、出願件数上位50分類の何処に力を入れているか?
  • 7.この分野の技術と技術 (FI、Fターム) の両面から見た技術開発実態について
    • 各技術分類 (特許分類) が、どの技術グループ (FI分類) の何処に力を入れているか?
    • 各技術分類 (特許分類) が、どの細部技術項目 (Fターム分類) の何処に力を入れているか?

この分野の技術開発の個別観点 (トップ企業、注目企業、基本技術、重要技術等) に注目して把握すること。

  • 8.この分野の技術開発のトップ企業等 (出願件数第1位の出願人) から見た技術開発実態について
    • どの技術開発 (特許分類:FI、Fターム) に積極的に取り組んでいるか (出願件数) ?またその動向 (出願傾向) はどうか?
    • 上位50技術開発者 (発明者) は誰であり、どのような動向 (傾向) であるか?
    • 上位50技術開発者 (発明者) が、上位50技術 (FI、Fターム) のどれに注力しているか?
    • 最近約3年間に着手が開始された技術開発 (分類) は何か?
  • 9.この分野の技術開発の基本又は重要技術 (特定分類:FI、Fターム) から見た技術開発実態について
    • この技術開発で特許出願の多い企業等 (上位50出願人) は誰であり、その動向 (傾向) はどうか?
    • 最近約3年間に着手が開始された技術開発 (分類) に何があるか?
  • 10. この分野の技術開発の基本又は重要技術 (特定分類:Fタームテーマコード) から見た技術開発実態について
    • テーマコードテーブル内の各マス目に対応して、技術開発状況 (出願件数) を表示するとどうなるか?
  • 11. この分野における最近の技術開発内容 (要約内、請求の範囲内キーワード) から見た技術開発実態について
    • 技術開発における最新の技術開発動向を技術的な観点で把握するために、直近3年間に、「要約内及び請求の範囲内」に新規に出現したキーワードを
    • ランキング化してリスト表示 (約1,000件以内) するとどうか?
    • 特別付録 (ニューアピアランス®キーワードランキングリスト) として提供する。

出版社

お支払い方法、返品の可否は、必ず注文前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本出版物に関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(出版社への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

体裁・ページ数

A4判 簡易製本 210ページ

ISBNコード

978-4-86786-287-2

発行年月

2024年2月

販売元

tech-seminar.jp

価格

41,700円 (税別) / 45,870円 (税込)

同時購入割引

  • 書籍版・CD-ROM版の同時購入で 67,870円(10%税込) (通常価格 91,740円 10%税込) でご購入いただけます。

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2025/1/8 車載半導体の基礎体系から開発環境・設計技術・量産品質確保の注意点 オンライン
2025/1/10 半導体先端パッケージに向けた実装技術、材料開発動向 オンライン
2025/1/14 先端半導体パッケージに対応する材料・実装技術の開発動向 オンライン
2025/1/15 SiCウェハの研磨技術と高速化、低ダメージ化 オンライン
2025/1/17 グリーンシートの成形プロセスと脱脂、焼成技術 オンライン
2025/1/20 半導体製造用薬液の不純物対策 オンライン
2025/1/20 ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向 オンライン
2025/1/21 自動車用を中心とした半導体技術の現状・最新動向と今後の展望 オンライン
2025/1/21 真空プロセスで取り扱う化学物質の危険性と安全対策 オンライン
2025/1/23 ドライ洗浄技術の動向と環境負荷低減に向けた製造工程への応用 オンライン
2025/1/28 CMPプロセスの最適化と装置・消耗部材の最新動向 オンライン
2025/1/28 グリーンシートの成形プロセスと脱脂、焼成技術 オンライン
2025/1/28 半導体封止材の最新技術動向と設計評価技術 オンライン
2025/1/29 半導体封止材料の基礎と設計・製造の応用技術および半導体パッケージ動向 オンライン
2025/1/31 半導体封止材用エポキシ樹脂の種類と特性および解析方法 オンライン
2025/1/31 半導体デバイス設計入門 オンライン
2025/1/31 リソグラフィ技術の基礎およびEUVリソグラフィ・レジスト周辺技術と展望 オンライン
2025/2/5 Si・SiC・GaN・酸化ガリウム・ダイヤモンドパワーデバイス技術ロードマップと業界展望 オンライン
2025/2/5 先端半導体デバイスの多層配線技術と2.5D/3Dデバイス集積化 オンライン
2025/2/6 レジスト/EUVレジスト・微細加工用材料の基礎と具体的なトラブル対策 オンライン

関連する出版物

発行年月
2024/9/13 世界のAIデータセンターを支える材料・デバイス 最新業界レポート
2024/6/19 半導体・磁性体・電池の固/固界面制御と接合・積層技術
2024/4/30 次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術
2024/2/26 EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2023/9/29 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術
2023/4/28 次世代半導体パッケージの最新動向とその材料、プロセスの開発
2022/11/29 半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術
2022/10/31 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術
2022/6/17 2022年版 電子部品市場・技術の実態と将来展望
2022/6/13 パワー半導体〔2022年版〕
2022/6/13 パワー半導体〔2022年版〕 (CD-ROM版)
2021/11/12 レジスト材料の基礎とプロセス最適化
2021/6/18 2021年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2020/7/17 2020年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2019/7/19 2019年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2018/3/20 レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
2018/1/10 SiC/GaNパワーエレクトロニクス普及のポイント
2014/10/31 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2014/10/31 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書
2013/12/15 パワー半導体 技術開発実態分析調査報告書