クリーンルーム技術の発展は、半導体製造用クリーンルームが牽引してきたといっても過言ではなく、これまで様々な汚染問題の検証や技術の開発がなされてきました。これらは、先人達が苦労して築き上げてきたものであり、論文や書籍等で伺い知る事ができます。一方、クリーンルームは様々な産業で使用されるようになってきているものの、各社でクリーン化を担当している方々におかれては、クリーンルームの基本的な維持管理など、相談する相手がいなかったり、先に述べた論文・書籍等を知らなかったり、様々な点で苦労していることが多いと思われます。
　本セミナーは、初めてクリーンルームに携わる人のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説する予定です。
　つきましては、日頃の業務に役立てて頂きたく、ぜひ本セミナーにご参加下さいますよう、お願い申し上げます。

1. はじめに
2. クリーンルームの概要
   • クリーンルームとは
   • 非一方向流と一方向流の違い (動画による比較)
   • クリーンルームの指針や規格
   • 清浄度の決定・計算方法
3. クリーンルームの気流制御・局所化
   • 微粒子の挙動
   • 気流制御の要点 (動画による解説)
   • 吸込口の位置影響
   • グレーチングの効果
   • 局所化の実施例
4. クリーンルームの維持管理
   • モニタリング
   • 作業者の管理、発塵源
   • クリーンルームの清掃
5. ケミカル汚染対策
   • ケミカル汚染とは
   • 測定方法と注意事項
   • 汚染対策 (脱ガス、湿式除去方式の要点、既設改造時の注意事項)
   • 対策事例 (有機フリーCR、イオンフリーCR)
6. イオナイザの発塵対策
   • 静電気対策の概要
   • イオナイザの種類と特徴
   • コロナ放電式イオナイザからの発塵とその対策
   • 軟X線イオナイザ
7. クリーンルームの省エネルギー
   • 主な省エネ手法
   • 省エネ事例 (気化式加湿を利用した外気処理、低湿度対応CRの省エネなど)
• 質疑応答・名刺交換・個別相談