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ドライエッチングのセミナー・研修・出版物

ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージ およびアトミックレイヤーエッチング(ALE)

2020年3月19日(木) 10時30分16時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)

2020年3月18日(水) 13時00分17時00分
2020年3月19日(木) 10時30分16時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージ およびアトミックレイヤーエッチング(ALE)

2019年10月3日(木) 9時30分13時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御

2019年10月2日(水) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)

2019年10月2日(水) 13時00分16時30分
2019年10月3日(木) 9時30分13時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージ およびアトミックレイヤーエッチング(ALE)

2019年3月15日(金) 9時30分13時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御

2019年3月14日(木) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)

2019年3月14日(木) 13時00分16時30分
2019年3月15日(金) 9時30分13時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージおよびアトミックレイヤーエッチング (ALE)

2018年7月6日(金) 9時30分13時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御

2018年7月5日(木) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)

2018年7月5日(木) 13時00分16時30分
2018年7月6日(金) 9時30分13時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

薄膜電子デバイスの作製プロセス最適化と設備導入のポイント

2018年5月24日(木) 10時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、各成膜方法から、パターニング手法、転写技術、洗浄乾燥、表面処理、クリーンルーム、安全への配慮まで、薄膜電子デバイスのプロセス構築・設備導入における実用ノウハウを解説いたします。

ドライエッチング技術の基礎と表面反応の制御および最新技術動向とALE

2018年1月31日(水) 10時00分17時00分
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本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

プラズマダメージとアトミックレイヤーエッチング (ALE)

2017年1月18日(水) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、10nmノード以降の低ダメージエッチングとして有望視されている、アトミックレイヤーエッチングについて詳解いたします。
また、パワーデバイス用として低ダメージエッチングが必要とされるGaNやAlGaNのALEについても解説いたします。

ドライエッチング技術の基礎と表面反応の制御および最新技術動向

2016年10月5日(水) 10時30分16時30分
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本セミナーでは、エッチングを支配するパラメータとその制御方法を解説いたします。

CVDプロセスにおけるノンプラズマクリーニング技術とその最適化

2014年4月24日(木) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、CVDプロセスの基礎から解説し、リアクタクリーニングの技術・プロセスについて詳解いたします。

最新プラズマエッチング技術

2012年3月19日(月) 11時00分16時30分
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本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最新技術まで網羅的に解説いたします。
情報が得にくい装置やダメージについても詳解いたします。

CVDリアクタのノンプラズマクリーニング技術

2011年12月13日(火) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、CVDプロセスの基礎から解説し、リアクタクリーニングの技術・プロセスについて整理する貴重なセミナーです。

ドライエッチングにおけるプロセス制御と形状制御

2011年10月31日(月) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から解説し、エッチングにおける劣化トラブルと抑制技術、プロセス制御によるCD安定化について解説いたします。

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