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XPS (ESCA) の基本とノウハウ

XPS (ESCA) の基本とノウハウ

～X線光電子分光分析の基礎知識、測定手順と適切な分析運用～
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アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2025年9月16日〜30日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2025年9月16日まで承ります。

概要

本セミナーでは、XPSの原理、試料作製と測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウを紹介し、応用例を用いてわかりやすく解説いたします。

配信期間

  • 2025年9月16日(火) 13時00分 ～ 2025年9月30日(火) 16時30分

お申し込みの締切日

  • 2025年9月16日(火) 13時00分

受講対象者

  • XPS (ESCA) 装置を使用する技術者、研究者、開発者
  • これからXPS (ESCA) 装置を使用する担当者
  • XPS (ESCA) データを解釈する必要がある方
  • 表面分析による解析を立案する必要がある方

修得知識

  • XPS分析の原理
  • XPS析の進め方
  • XPS (ESCA) データ解釈の注意点
  • 各種表面分析の中でのXPS分析の特徴と位置づけ

プログラム

　電池・半導体・触媒などの、さまざまな素材を組み合わせた複合材料・デバイスの開発をスピードアップする要求が高まっています。その開発には、素材の性能の向上だけでなく、素材を組み合わせたときの性能の発揮がきわめて重要です。このためには、接着、摩擦、界面抵抗など素材の原子レベルの表面・界面で起こる問題を素早く解決して、開発指針を得る必要があります。
　本セミナーでは、表面数十原子層の分析をおこなう表面分析の中でも最もポピュラーな、X線光電子分光法 (XPSまたはESCA) を取り上げ、原理、試料作製と測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウ、および最新のハードウェア技術の動向や最近の話題を取り上げ、装置ユーザーおよび材料開発に携わる方の基礎的な知識を解説します。

  1. 表面分析とは
    1. 材料表面・界面の重要性
    2. 各種表面分析手法
    3. 他の表面分析手法との比較
      • AES (オージェ電子分光法)
      • TOF-SIMS (飛行時間型二次イオン質量分析法)
  2. XPSの原理と特徴
    1. XPS装置の構成
    2. XPS分析の原理
    3. XPSスペクトルと化学シフト
    4. XPS分析が表面分析となる理由
    5. 深さ方向分析
    6. イメージング分析
  3. XPSの試料作成と測定条件
    1. 測定できる試料とその形状
    2. サンプリングの注意点
    3. 粉末試料
    4. 絶縁試料と中和
    5. 電池材料、導電物と絶縁物の混在試料
  4. 測定
    1. ワイドスペクトル (サーベイスペクトル)
    2. ナロースペクトル
    3. プロファイル分析
  5. データ処理
    1. XPSの強度計算
    2. 標準試料を用いない表面半定量
    3. 定量範囲の決定
    4. 化学状態の推定 (カーブフィッティング)
  6. 最新の測定技術
    1. マイクロXPS分析
    2. ガスクラスターイオン銃による有機試料の深さ方向分析
    3. 高エネルギーXPS (HAXPES)
    4. UPS (紫外光電子分光法) とLEIPS (逆光電子分光法)
    5. AESと組み合わせた分析
    6. TOF-SIMSと組み合わせた分析
  7. よくある質問
    • 定量に含めるピークと含めないサテライトピーク
    • 中和がうまくいっていない時の考え方と対処
    • カーブフィッティング (ピークフィッティング) をおこなってよい場合
    • 分析結果をきれいに見せる
  8. まとめ、質疑
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講師

  • 眞田 則明 氏
    アルバック・ファイ株式会社
    分析技術顧問
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主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 34,400円 (税別) / 37,840円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

アーカイブ配信セミナー

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2025年9月16日〜30日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
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