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次世代パワー半導体とパワーデバイスの結晶欠陥の特定、評価技術とその動向、課題

次世代パワー半導体とパワーデバイスの結晶欠陥の特定、評価技術とその動向、課題

~ワイドギャップ半導体の結晶評価の各手法の原理と適用事例、範囲と課題~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、ワイドギャップ半導体の結晶評価技術の開発に焦点を当て、評価技術の原理と事例を基礎から解説いたします。

開催日

  • 2025年7月24日(木) 10時30分16時30分

受講対象者

  • ワイドギャップパワー半導体の結晶成長と評価に携わる研究者・技術者

修得知識

  • パワーデバイス用半導体結晶中の欠陥の評価技術

プログラム

 4H-SiC、GaN、β-Ga2O3、AlNに代表されるワイドギャップ化合物半導体は、高電力密度、低損失、高温動作時の安定性など、従来の半導体材料を凌駕する特性を有しており、近年、これらを用いた次世代パワーデバイスの研究開発が急速に進展している。しかし、これらの材料は強い共有結合を持つため結晶成長が難しく、成長後の結晶中には転位などの格子欠陥が高密度で存在する。一部の格子欠陥はデバイス性能や信頼性を著しく低下させる要因 (いわゆるキラー欠陥) となるため、欠陥の分布や種類を正確に把握し、それらの情報を結晶成長およびデバイスプロセスにフィードバックすることが極めて重要である。
 本講演では、ワイドギャップ半導体の結晶評価技術の開発に焦点を当て、各手法の原理と適用事例について基礎から解説する。加えて、各評価技術の適用範囲や課題についても述べるとともに、放射光X線トポグラフィーをはじめ、エッチピット法、透過型電子顕微鏡 (TEM) 、多光子励起顕微鏡など、最新の評価手法に関する取り組みについて紹介する。

  1. はじめに
    1. パワーデバイス用ワイドギャップ半導体
      • カーボンニュートラルの産業イメージ
      • パワーデバイスとは何か
      • 次世代のパワーデバイス-ワイドギャップ半導体
    2. 結晶中の欠陥
      • 格子欠陥による「信頼性」の懸念
      • 欠陥の種類
    3. 欠陥評価手法とその適用範囲
  2. 結晶評価手法
    1. 選択性化学エッチング (エッチピット法)
      • SiCのエッチピット形成と分類
      • GaNのエッチピット形成と分類
      • AlNのエッチピット形成と分類
      • Ga2O2のエッチピット形成と分類
    2. 透過型電子顕微鏡
      • SiCの転位同定
      • GaNの刃状転位、らせん転位、と混合転位
    3. 多光子励起顕微鏡
    4. X線回折とX線トポグラフィー
      • 放射光X線トポグラフィー (XRT) とは何か
      • XRTの原理
      • 反射配置XRT
      • 透過XRT
    5. その他の手法
  3. 最新の研究内容 動作中のデバイスの欠陥観察
  4. 質疑応答

講師

  • 姚 永昭
    三重大学 研究基盤推進機構 半導体・デジタル未来創造センター
    教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,200円 (税別) / 42,020円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

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