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遷移金属ダイカルコゲナイド (TMDC) の物性・合成・薄膜形成とデバイス応用

遷移金属ダイカルコゲナイド (TMDC) の物性・合成・薄膜形成とデバイス応用

~トランジスタ・光デバイス・センサ等のデバイス応用とそのための要素プロセス技術・最新研究動向~
オンライン 開催

概要

近年、先端トランジスタをはじめ、様々なデバイス応用を見据えて世界的に研究が活発化している遷移金属ダイカルコゲナイド (Transition Metal Dichalcogenide ; TMDC)。
本セミナーでは、TMDCが期待されている背景から、分類・構造・物性、合成・薄膜形成、電界効果型トランジスタ・トンネルトランジスタ・メモリ等への応用、デバイス応用のためのプロセス技術、最新研究動向までを解説いたします。

開催日

  • 2023年11月17日(金) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • TMDCの研究開発に携わっている方、これから携わる方
  • TMDCの物性、合成、デバイス応用に関心のある方

修得知識

  • TMDSの物性、合成、薄膜形成に関する基礎知識
  • TMDCのデバイス応用
  • デバイス化要素プロセスに関する基礎知識
  • デバイス化要素プロセスに関する最新研究動向

プログラム

 二次元層状物質の代表格である遷移金属ダイカルコゲナイド (Transition Metal Dichalcogenide ; TMDC) は、二次元性を舞台とした基礎物性研究の対象としてだけでなく、その物性を生かしたデバイス応用に至るまで、幅広い研究者の興味を引いている。特に近年では、Si CMOSトランジスタの微細化限界を打破し得る材料として、CMOS微細化を牽引する世界的大企業においても精力的に研究が進められている。
 本セミナーでは、TMDCの物性、合成から、デバイス応用、更には、デバイス化のための要素プロセス技術までを含めて解説する。

  1. 序論
    1. TMDCへの期待
  2. TMDCの物性
    1. 分類
    2. 結晶構造
    3. バンド構造
    4. 機械的特性
    5. 光学特性
    6. 電気特性
  3. TMDCの合成、薄膜形成
    1. バルク単結晶成長
    2. 機械的剥離法による薄膜形成
    3. 固体原料による化学気相成長
    4. アルカリ金属添加による大粒径化
    5. 気体原料による化学気相成長
    6. その他形成手法
      • 原子層堆積法
      • スパッタ法
      • 金属酸化物硫化法 等
    7. TMDCヘテロ構造の形成
  4. デバイス応用
    1. 電界効果型トランジスタ
    2. トンネルトランジスタ
    3. 光デバイス
    4. その他デバイス
      • センサ
      • メモリ
      • ニューロモルフィック
  5. デバイス化要素プロセス技術
    1. 低抵抗コンタクト形成技術
    2. 界面パッシベーション技術
    3. ドーピング技術
  6. おわりに
    • 質疑応答

講師

  • 入沢 寿史
    国立研究開発法人 産業技術総合研究所
    上級主任研究員

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,900円 (税別) / 33,990円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,900円(税別) / 33,990円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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