2021年に発覚した半導体不足の解消の目途が立たない。当初は28nmのロジック半導体が不足していたが、その不足が解消されたと思ったら、今度はDRAM&NANDおよびレガシーなパワー&アナログ半導体が不足し始めた。さらにロシアによるウクライナへの軍事侵攻の影響により、露光装置に使われるNeなど希ガスの供給が滞り始めた。加えてドライエッチング装置用冷媒の世界シェア約50%を占めていた3M社のフロリナートが突然生産停止となった。そのためフロリナートの代替品の調達に失敗した半導体メーカーでは、工場の稼働が止まる危険に直面している。今後、半導体不足はより深刻化し、半導体が生産できない事態も予想される。クルマを含むすべての電子機器は、半導体が1個足りないだけで完成品ができない。そのためのリスク管理を可及的速やかに講じる必要がある。
　本セミナーでは今後の半導体不足の行方や半導体が生産停止になったときのインパクトとその危機への対処について詳述する。加えて、過去に例をみないほどの活況を帯びている半導体製造装置産業において、日本の前工程装置のシェアが低下している危機についても警告したい。

1. はじめに
   1. 自己紹介
   2. 本セミナーの概要と結論
2. 世界半導体市場と製造装置市場
   1. 過去最高を記録し続ける半導体市場と製造装置市場
   2. 種類別、地域別の半導体市場動向
   3. 各種の前工程用装置の出荷額と企業別シェアの分析
   4. 各種の後工程用装置の出荷額と企業別シェアの分析
   5. 装置に搭載する半導体不足により装置のリードタイムが超長期化
   6. 日本の前工程用装置産業のシェアが低下
3. 変化した半導体不足の状況
   1. 2021年初旬にコロナの特需で28nmのロジック半導体が不足
   2. 28nmの生産委託が殺到したTSMCが熊本に半導体工場建設へ
   3. 2021年後半に28nmの不足とFoundryの逼迫は解消へ
   4. データセンタ需要の高まりによりDRAMとNANDが逼迫へ
   5. クルマのEV化と自動運転化の普及によりパワー&アナログ半導体が逼迫へ
   6. レガシーなパワー&アナログ半導体は今後絶望的に不足する
4. ロシアによるウクライナへの軍事侵攻の影響
   1. ロシアがドライエッチング用ガスC4F6の供給国だった
   2. ウクライナは希ガスのNeの世界シェア70%を占めていた
   3. KrFとArF露光装置の稼働、メンテナンス、生産にはNeガスが必要不可欠
   4. Neガスの供給が滞ると露光装置の稼働と生産に支障が出る
   5. M社ベルギー工場のフロリナート生産停止のインパクト
   6. ベルギーのフランダース地方政府が3M社のフロリナートの生産を強制停止
   7. なぜこのような事態になったのか?
   8. ドライエッチング装置における温度制御の重要性
   9. ドライエッチング装置用の冷媒の世界シェア
      • フロリナート
      • ノベック
      • ガルデン
   10. 水面下で繰り広げられているフロリナート代替冷媒の調達合戦
   11. 化審法により代替冷媒ノベックの輸入が困難な日本メーカー
   12. 代替冷媒ノベックとガルデンのフロリナート互換性について
   13. 今後想定される事態 (代替冷媒の調達に失敗した半導体工場の稼働が止まる)
   14. 3M社ベルギー工場でのフロリナートが生産再開に?
5. まとめと今後の展望
   1. 半導体不足は今後ますます深刻化する
   2. 3M社のフロリナートのケーススタディから導き出される教訓とは
• 質疑応答