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洗浄の基礎、半導体洗浄のトラブル発生メカニズムとその対策

洗浄の基礎、半導体洗浄のトラブル発生メカニズムとその対策

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、半導体、ディスプレイ、5G機器などの精密洗浄への要求特性とそのクリーン度の実際、使用する薬剤や設備、環境安全性、洗浄度評価の手法と進め方などについて詳解いたします。

開催日

  • 2021年7月27日(火) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • 半導体洗浄に携わる技術者、研究者
  • これから半導体洗浄に携わる技術者、研究者
  • 新製品の洗浄技術を開発している技術者、研究者
  • 既存製品の洗浄工程の改善を検討している技術者、研究者
  • トラブルの原因を体系的に考えたい技術者、研究者

修得知識

  • 洗浄技術・工程・装置の組み立て方
  • 使える表面を作るための薬液の働きと選び方
  • 「清浄」の概念は目的により異なること
  • 流れが大切であること、
  • 生産プロセスに関わる流れの概念

プログラム

 「洗う」ということの基礎現象に始まり、実務的な薬液と洗浄機構造を理解し、更には困った時に考えるべき要点を説明します。製品の仕上げ方は、洗浄した後に使う目的により変わりますので、それを前提にした上で、洗浄の薬液と洗浄装置の役割、働き、を説明します。単純な槽の中の水流の可視化実験を動画で紹介しますので、それを見て流れを想像するコツを学び、つぎに、実際の枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れ動画、超音波を使っている時の気泡挙動をとらえた貴重な動画を基に、洗浄している時の流れの様子を理解すると共に、流れを改善する時の要点を把握します。最後に、洗えない時の対策を簡潔に説明します。半導体以外の洗浄技術者にも参考になるはずです。

  1. 汚れの種類、由来と仕上げ
  2. 洗浄の4要素
    • 温度
    • 時間
    • 化学
    • 力学
  3. 半導体洗浄に特有の事項
  4. 半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会
  5. 半導体洗浄の基礎現象
    1. 薬液の種類と働き
      • 付着
      • 脱離
      • 引き剥がす
    2. 化学工学の基礎現象
      • 流れ
      • 拡散
      • 反応
    3. 装置内流れの分類と特徴
    4. 流れの可視化観察 (動画)
  6. 洗浄機内の流れと反応
    1. 枚葉式洗浄機 (流れ動画と数値計算)
      1. 水流観察と計算
      2. 化学反応の数値解析例
    2. バッチ式洗浄機 (流れ動画と数値計算)
      1. 水流観察動画と計算
      2. 水流を変える方法 (実例)
    3. 超音波と水流 (観察動画)
  7. おわりに:トラブル対策の要点
    • 質疑応答

講師

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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