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圧電薄膜技術とその測定法および圧電MEMSデバイスの最新動向

圧電薄膜技術とその測定法および圧電MEMSデバイスの最新動向

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、振動発電について取り上げ、材料開発から素子作製技術、応用事例まで最新動向を詳解いたします。

開催日

  • 2021年7月14日(水) 13時00分 17時00分

受講対象者

  • 圧電MEMSデバイスの応用が考えられる製品の技術者
    • 自動車
    • 電子機器
    • 機械
    • エネルギー
    • 電子部品
    • 携帯電話 など
  • 圧電MEMSデバイスに関連する技術者
  • 圧電MEMSデバイスで課題を抱えている方

修得知識

  • PZT圧電薄膜のスパッタ成膜技術
  • 圧電薄膜の結晶構造および電気特性評価
  • 薄膜材料の圧電定数評価法
  • ユニモルフ素子構造の設計

プログラム

 圧電薄膜を用いたMEMS技術について、その特徴と実用化に向けた現在の開発状況、また圧電薄膜およびその評価技術に関する基礎について解説する。
 圧電材料の有する優れた電気機械変換効果は、マイクロデバイス化することによりその特徴を更に引き出すことができる。現在はシンプルな構成のデバイスが実用においても主流となっているが、今後従来のMEMSで蓄積された微細構造と融合することによって新しい技術展開が期待される。
 本講義では圧電薄膜材料に加え、応用デバイスの基礎となるユニモルフ構造について取り上げ、設計の基礎となる力学的特徴について説明する。

  1. 圧電MEMS技術の概要
    1. MEMS技術とその応用
    2. PZT圧電薄膜を用いた応用デバイス
  2. 圧電MEMSの要素技術
    1. 圧電材料とその特徴
    2. 薄膜化プロセス
  3. 薄膜材料の圧電特性評価
  4. ユニモルフカンチレバーの力学
  5. まとめ

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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