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MEMS開発に向けたプロセス技術、今後の展望

Zoomを使ったライブ配信セミナー

MEMS開発に向けたプロセス技術、今後の展望

~MEMSプロセスの構築、デバイス応用事例と今後の展望を解説~
オンライン 開催

開催日

  • 2021年3月10日(水) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • MEMS の応用分野の技術者、研究者、管理者、企画担当者
    • 自動車・家電の応用分野
    • 情報・通信の応用分野
    • 製造・検査の応用分野
    • 医学・バイオの応用分野
    • 他、MEMSビジネス関連

修得知識

  • MEMSの概要・特徴・トレンド
  • MEMSの製作技術
  • センサなどとしての要素技術
  • MEMSの技術の応用
  • オープンコラボレーションによる開発の効率化

プログラム

MEMS技術とそのプロセス

 MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、半導体技術を発展させてSiウェハ上に回路だけでなくセンサや構造体あるいはアクチュエータなど多様なものを形成し、小形で高度な機能を持つ高付加価値の部品を実現する技術です。
 スマホなどの部品のように大量に安価に供給されるものから、Siウェハ上でのテストに用いるプローブカードのように生産や試験に用いられるものまで多様です。
一般に多品種少量で開発がボトルネックになりますが、毎年12%程の一定の割合で売り上げが伸びてきました。
 この技術では開発がボトルネックになりますので、幅広い知識や実際の試作経験などが大切です。このようなMEMSのこれからの開発に役立てて頂きたいと思います。

  1. 自動車・スマートホンなどで使われる (量産) MEMS
  2. IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる (量産・高付加価値) MEMS
  3. インフラ・安全・環境、製造・検査などで使われる (高付加価値) MEMS
  4. 基本プロセス1
    • パターニング
    • エッチング
  5. 基本プロセス2
    • 堆積と応力制御
    • 接合
  6. 組合せプロセス1
    • バルクマイクロマシニング
    • 表面マイクロマシニング
    • ナノマシニング 他
  7. 組合せプロセス2
    • ウェハ転写とヘテロ集積化
    • 電気的接続
    • パッケージングと真空封止
  8. ダイシング、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗例 他
  9. MEMSの要素
    • センサ
    • アクチュエータ
    • エネルギ源
  10. MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他
    • 質疑応答

第2部 MEMS/NEMSの最近の応用事例について

(2021年3月10日 15:10〜16:30)

我々はナノ・マイクロデバイス科学の構築に向けて、現在以下5つの要素技術研究を行っている。

  • MEMS
  • ナノ・マイクロ加工
  • 3次元実装技術
  • 表面処理技術
  • フレキシブルプリンテッドエレクトロニクス

本講演ではこの5つの要素技術の紹介と、それらを用いた幾つかの応用領域である、以下の研究について紹介する。

  • マイクロ流路付き有機EL
  • 3次元エレクトロニクス実装
  • 先端材料
  • バイオ・医療デバイス

講師

  • 江刺 正喜
    東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター (μSIC)
    センター長 / 教授
  • 水野 潤
    早稲田大学 ナノ理工学研究機構研究院
    教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
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  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
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本セミナーは終了いたしました。