技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。
EUVリソグラフィ技術は2019年より最先端の半導体量産技術として適用されました。欧米、アジアを中心に半導体技術の世界覇権争いが激化しています。このような状況の中で、EUVリソグラフィ技術開発の黎明期から、現在、そして今後の展望を正しく理解し、今後の半導体およびその周辺技術開発に生かして頂きたいと考えています。これを目的にして、EUVリソグラフィの光学系、レジスト、マスク、ペリクル技術に加えて、これらの評価技術について紹介します。兵庫県立大学では1996年より25年間に亘り、EUVリソグラフィの基盤技術開発に取り組んで参りました。ニュースバル放射光施設でのEUVリソグラフィ技術開発にも言及したいと存じます。
学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
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| 2025/4/10 | ゲル化剤・増粘剤の基礎・特性・評価法 | オンライン | |
| 2025/4/11 | 粘度の基礎と実用的粘度測定における留意点と結果の解釈 | オンライン | |
| 2025/4/11 | 電気光学 (EO) ポリマーの基礎と評価技術および光制御デバイスへの応用 | オンライン | |
| 2025/4/11 | プラスチックの難燃化技術 | オンライン | |
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| 2025/4/14 | プラスチック用添加剤の作用機構と使い方 | オンライン | |
| 2025/4/14 | 副資材を利用した高分子材料の設計技術 | オンライン | |
| 2025/4/15 | 押出機・混練機内の高分子材料の輸送・溶融と混練技術 | オンライン | |
| 2025/4/15 | ナノフィラーの高分散・充填化技術の基礎と機能性ナノコンポジットの開発動向 | オンライン | |
| 2025/4/15 | プラスチック強度設計に必要な材料特性と設計の進め方 | オンライン | |
| 2025/4/16 | ヒートシールのくっつくメカニズムと不具合対策、品質評価 | オンライン | |
| 2025/4/17 | プラスチック/ゴムの劣化・破壊メカニズムとその事例および寿命予測法 | オンライン | |
| 2025/4/17 | 低誘電性樹脂の開発と伝送損失の低減、高速・高周波通信への対応 | オンライン | |
| 2025/4/17 | メタルレジストの特徴とEUV露光による反応メカニズム | オンライン | |
| 2025/4/18 | イオン交換樹脂を使いこなすための必須知識と応用のポイント | オンライン | |
| 2025/4/18 | ラジカル重合 基礎講座 | オンライン | |
| 2025/4/18 | 電気光学 (EO) ポリマーの基礎と評価技術および光制御デバイスへの応用 | オンライン | |
| 2025/4/21 | はじめてのプラスチック材料と成形法 | オンライン | |
| 2025/4/21 | UV硬化樹脂の硬化不良要因と硬化状態の測定・評価技術 | オンライン |