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スパッタリング法活用のための総合知識と実務ノウハウ

スパッタリング法活用のための総合知識と実務ノウハウ

~基礎から、薄膜の評価・分析、特性安定化、密着性・信頼性確保、トラブル対策、生産性の改善まで~
東京都 開催 会場 開催

概要

本セミナーでは、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説いたします。

開催日

  • 2019年3月28日(木) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • スパッタリング・成膜に関連する技術者
    • エネルギー分野
      • 反射防止膜保護膜
      • 透過膜太陽電池
    • 光学分野
      • 増透膜
      • 反射防止膜
      • 偏光膜
      • 保護膜
      • 赤外透過膜
      • 赤外線フィルター
      • 紫外線フィルター
    • ディスプレイ
      • 絶縁膜
      • 透明電極
      • 発光膜
    • 表面処理
      • 表面硬化膜
      • 固体潤滑膜 など
  • スパッタリング・成膜で課題を抱えている方

プログラム

 スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するのか?についてのノウハウはあまり知られていません。
 本講座では、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。スパッタリング薄膜の開発、生産技術に携わる実務者はもちろん、外部委託により薄膜を活用する技術者にとっても、重要な知識を得ることができます。

  1. [基礎編] スパッタリング法の基礎
    1. 薄膜の基本を押さえよう
    2. スパッタリング法と他の成膜技術との違いとは
    3. スパッタリング薄膜の用途と今後の展開について
    4. スパッタリング装置の構成を把握しよう
    5. スパッタリング工程の運用と管理について
  2. [基礎編] スパッタリング法の物理現象
    1. 物理現象を把握することの重要性
    2. スパッタリングの物理現象1 (プラズマ放電)
    3. スパッタリングの物理現象2 (スパッタリング)
    4. スパッタリングの物理現象3 (組織形成)
    5. スパッタリングのパラメータを整理しよう
  3. [基礎編] スパッタリング薄膜の評価・分析技術
    1. スパッタリング薄膜に求められる性能とは
    2. 膜厚・形状の評価方法とポイント
    3. 各種特性評価の方法とポイント
    4. 元素・状態分析の方法とポイント
    5. 結晶構造評価の方法とポイント
    6. 機械的性質・密着性評価の方法とポイント
  4. [応用編] スパッタリング薄膜の特性安定化
    1. 特性実現と特性安定化という2つの課題
    2. 特性とパラメータの間にあるものを理解しよう
    3. プロセスのばらつき・変動要因について
    4. プロセスのリアルタイム分析の方法とポイント
    5. スパッタリング薄膜の特性安定化のポイント
    6. 特性悪化トラブルシューティング 事例と対策
  5. [応用編] スパッタリング薄膜の密着性・信頼性確保
    1. 薄膜の密着と剥離のメカニズム
    2. 剥離解析からの原因追究のポイント
    3. 信頼性評価…密着性、機械的強度、各種試験
    4. スパッタリング薄膜の密着性確保のポイント
    5. 密着性トラブルシューティング 事例と対策
  6. [応用編] スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
    1. スパッタリング薄膜の欠陥モード
    2. スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
    3. ピンホール・付着異物の原因究明と対策
    4. 変色・しわ・しみの原因究明と対策
    5. 外観トラブルシューティング 事例と対策
  7. [応用編] スパッタリング工程の生産性改善
    1. スパッタリング工程の原価を把握しよう
    2. スパッタリング工程のコスト改善手法
    3. スパッタリング工程の運用体制と稼働率
    4. スパッタリング工程の稼働率改善法
    5. メンテナンスを安全化しよう
    6. 生産性改善アプローチの事例
  8. スパッタリング薄膜応用の最新事例
    • 質疑応答・名刺交換

講師

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

4F 第2特別講習室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 42,750円 (税別) / 46,170円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,300円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名様以上でお申込みの場合、
    1名あたり 22,500円(税別) / 24,300円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 46,170円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 48,600円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 72,900円(税込)
  • 同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
本セミナーは終了いたしました。

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