技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、UV硬化樹脂の材料配合、照射条件の最適化、硬化後の反り・変形・変色の防止、光が届きにくい所への遅延硬化、ハイブリット硬化の適用について詳解いたします。
(2018年12月4日 10:00〜11:30)
光酸発生剤および光塩基発生剤を用いた感光性樹脂 (レジスト、UV硬化) の基礎について述べる。さらに、様々な分子増幅を駆使した感光性ポリマーの高感度化・高解像度化、硬化不良対策について演者らの研究を中心に述べる。
(2018年12月4日 12:10〜13:40)
リソグラフィとレジストの進展を技術の転換点の視点で解説する。この転換点を踏まえて現状の技術を理解し、リソグラフィ・レジスト開発を展望し、課題を考察してみる。また、レジストの課題を膜形成、感光、現像メカニズムの観点から課題を理解して、今後のレジストの開発について考察する。
(2018年12月4日 13:50〜15:20)
ポリイミド、PBOの研究開発に従事している方に向け、ポリイミド、PBOの開発の経緯、分子設計の考え方、感光化付与技術、ディスプレーへの展開など、現在、幅広く用いられているポリイミド、PBOの全般を理解するのに適したものである。
(2018年12月4日 15:30〜17:00)
本講演では、フォトポリマーの特性評価について述べます。特に、近年半導体微細加工に重要な化学増幅レジストの材料およびプロセスにおける特性評価技術について解説します。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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発行年月 | |
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