技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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真空プロセスを用いた薄膜の作製方法には様々な種類があります。なかでもスパッタリング法は大面積基板へ高速に薄膜を形成できるため、工業的に重要な技術です。スパッタリング法で良質な薄膜を得るには成膜条件の設定が極めて重要です。しかし、最適条件の確立は試行錯誤的になりがちです。 効率的な最適条件の確立には、スパッタリング法の基礎を理解することが欠かせません。
本セミナーでは、成膜条件を変えた時に起こる現象を正しく理解できるようになることを主な目的とし、真空・スパッタリング法の基礎的な知識を整理します。さらに、薄膜の分析法についても解説し、分析結果をどのように成膜条件にフィードバックするかについても紹介いたします。また、ケーススタディとして透明導電膜の最適条件の確立についてもご紹介いたします。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2025/1/21 | 真空プロセスで取り扱う化学物質の危険性と安全対策 | オンライン | |
2025/1/29 | 薄膜作製の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
2025/2/4 | 薄膜作製の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
2025/2/13 | プラズマ技術の基礎とドライエッチングへの応用 | オンライン | |
2025/2/14 | 透明導電膜の基礎・最新動向並びにアプリケーション展開 | オンライン | |
2025/2/19 | スパッタリングによる成膜の基礎と製膜トラブル対策 | オンライン | |
2025/2/21 | プラズマ技術の基礎とドライエッチングへの応用 | オンライン | |
2025/2/21 | 透明導電膜の基礎・最新動向並びにアプリケーション展開 | オンライン | |
2025/2/21 | ALDの基礎と原料の開発・選択 | オンライン | |
2025/3/11 | 薄膜作成の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
2025/3/12 | Tダイ法による押出成形とトラブル対策 | オンライン | |
2025/3/14 | スパッタリング法の総合知識と薄膜の特性制御・改善、品質トラブルへの対策 | オンライン | |
2025/3/14 | 測定・評価技術から取り組む薄膜の剥離・密着性の改善と制御 | オンライン | |
2025/3/26 | 断熱材・真空断熱材の基礎・入門とナノ多孔質粒子による超寿命化・評価 | オンライン | |
2025/3/28 | スパッタリング法の総合知識と薄膜の特性制御・改善、品質トラブルへの対策 | オンライン |
発行年月 | |
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2021/12/31 | 導電性材料の設計、導電性制御および最新応用展開 |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2013/8/5 | 透明導電性フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2013/8/5 | 透明導電性フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/3/5 | PEDOTの材料物性とデバイス応用 |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |