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塗布型電子材料のコーティング技術

塗布型電子材料のコーティング技術

東京都 開催 会場 開催 個別相談付き
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開催日

  • 2017年4月20日(木) 10時30分 ～ 16時30分

修得知識

  • 塗工液から乾燥までの一連のコーティングプロセス
  • 製造および開発過程に生じる多種多様なトラブルへの対応能力

プログラム

　近年、コーティング膜の塗布・乾燥プロセスは、処理能力の高さ、低コスト性などの観点から、主要な電子部品やシステムの製造技術として用いられています。
　本講座では、塗布型電子材料のコーティング技術の本質を理解することで高品位化・高速化を考察することを目的とし、各種トラブルを解決する能力を養えます。また、研究開発・トラブルフォローといった実務上での取り組み方について、豊富な実例を交えて解説します。
　本講座を通じて、初心者にも分かりやすく、基礎から学んでいただけます。また、受講者が抱えている日々のトラブル相談にも応じます。

  1. 塗布膜形成の基礎 (塗工液から膜形成まで)
    1. 塗工液から塗布膜へ
      • 液体から固体 (膜) への変化
      • 混合と溶解
      • 粘性
      • 表面張力
      • 動的挙動
    2. 塗布膜の乾燥
      • 膜の品質決定
      • 濃度差拡散
      • ラプラス力
      • 蒸気圧
      • 凝集単位
  2. 電子材料のコーティング実例 (プロセスと装置機構)
    1. 集積回路用レジスト材料
      • 微細加工用ポリマー
    2. スピン、スリット、ディップ
      • ナノレベルの膜厚均一性
    3. インクジェット、ナノ粒子ペースト、スプレー
      • 高精細制御
    4. クリームはんだ、アンダーフィル
      • 実装用金属材料
    5. スマホ用タッチパネル材料
      • 糸曳現象
    6. UVカバーフィルム剥離機構と残渣発生
      • 自己応力発生機構
    7. 燃料電池MEA用ナフィオン膜形成
      • イオン電導体の塗膜形成
    8. パネル用フィルムの帯電制御と評価
      • 帯電メータによる管理
  3. 塗工液の濡れ制御
    • 濡れの不確定要素を見極める
    1. 表面エネルギーと濡れ性
      • Herringの式
    2. Youngの式により濡れ現象を理解する
      • 濡れから塗布へ
    3. 表面エネルギーの使い方
      • エネルギーで塗布現象を表す
    4. ウェットプロセスの評価手法をマスターする
      • 拡張係数s
      • 洗浄
      • 気泡除去
    5. パターン配置による濡れ
      • ピンニング効果を抑える
    6. 基板材質の差による濡れ
      • Cassieの式を使いこなす
    7. 基板の凹凸による濡れ
      • Wenzelの式を使いこなす
  4. 塗膜の乾燥メカニズムと高品質化 (乾燥のツボを抑える)
    1. 濃度差拡散
      • 塗膜内の溶剤移動を支配する
    2. 蒸気圧
      • 乾燥を促進する環境設定
    3. ラプラス力制御
      • 塗膜の凝集性の発現
    4. 乾燥装置の最適化の要因
      • 乾燥速度
      • 乾燥限界
    5. 加熱乾燥、赤外線乾燥
      • 比熱
      • 熱容量
      • 熱伝導
    6. 減圧乾燥による膜質改善 (膜内応力の緩和)
  5. トラブル対策 (発生原因を特定し解決策を見極める)
    1. ピンホールの抑制方法
      • 濡れ不良
      • 拡張濡れ法
    2. 表面硬化層の形成過程
      • 塗膜内の凝集性分布
    3. 乾燥ムラの発生メカニズム
      • マランゴニ対流
      • 自発拡張法
    4. 膜剥離の防止法
      • ポップアップ・ガス発生
    5. 膜クラックの抑制
      • 応力ミスマッチ
      • 応力吸収
    6. 膜クレイズの発生メカニズム
      • 環境応力亀裂
      • 溶液との接触
    7. 微粒子の乾燥メカニズム
      • ウォーターマークの形成
  6. コーティングプロセスの管理計測方法 (プロセス安定性を維持する)
    1. 薄膜の付着性測定
      • スクラッチング法
      • 引張り試験法
      • DPAT法
    2. 膜応力および凝集力測定
      • ひずみゲージ
      • インデント法
      • 屈折率法
      • 光弾性法
  7. 塗膜の品質保証 (劣化、加速試験、寿命評価)
    1. 膜の劣化要因と活性化エネルギー
    2. 不良率
      • バスタブ曲線
    3. データの統計的管理法
      • 標準偏差
      • 相関係数
      • 判定
    4. 塗膜の品質保証
      • ワイブル分布
      • 加速試験
      • 寿命評価
  8. 質疑応答
    • 日頃の疑問・トラブル・解析・技術開発相談に応じます
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講師

  • 河合 晃 氏
    長岡技術科学大学
    名誉教授
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会場

東宝土地 株式会社 高橋ビルヂング
東京都 千代田区 神田神保町3-2
東宝土地 株式会社 高橋ビルヂングの地図
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主催

S&T出版 株式会社
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お問い合わせ

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