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低コスト・高機能なポリマーMEMSの開発と応用展開

低コスト・高機能なポリマーMEMSの開発と応用展開

東京都 開催 会場 開催
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概要

本セミナーでは、MEMSの技術動向や製作例を紹介し、実用化に重要な信頼性試験結果をもとにしたポリマーMEMS技術の展望を推測いたします。

開催日

  • 2016年5月30日(月) 10時30分 ～ 16時30分

プログラム

　環境に優しいポリマー材料を用い、そのしなやかさ熱膨張特性を利用し可動部を有するマイクロセンサやアクチュエータの製作が可能となりました。製造プロセスはこれまでの半導体プロセスに比べ低い設備投資で、MEMS産業への参入障壁が低くなると期待されます。本セミナーではポリマーMEMSの製作例を紹介すると共に実用化に重要な信頼性試験結果を示します。これらの結果をもとにポリマーMEMS技術の展望について眺めてみたいと思います。
　今後、持続可能な社会の実現、地球的規模の課題への対応にはIoT (internet of things) で代表される産業構造の高度化を推進する必要があります。MEMSはそのキーデバイスであり、益々重要な地位を占めることになります。また、毎年1兆個規模の大量のセンサを社会が消費し活用する近未来のセンサ社会を構成する「トリリオン・センサ (trillion sensor) 」構想があります。これは現在のセンサ需要の100倍に当たります。この構想を実現するには、センサコストは現在の1/100とすることが望まれます。そこで、低コストで大量生産が得意なポリマー材料を用いたMEMSの登場が必須となります。これらの展望を本セミナーで皆さんと一緒に考えたいと思います。

  1. MEMSの概論
    1. MEMSとは
    2. MEMS技術の開発推移
    3. MEMSのこれまでの開発例紹介
  2. MEMSの産業化の推移
    1. MEMSの市場予測
    2. ポリマーMEMSの産業化の展望
  3. ポリマー材料の特徴
    1. ポリマーとシリコンの材料特性の比較
    2. ポリマーMEMSの開発のねらい
  4. ポリマーMEMS製造技術
    1. シリコン金型の製作技術
    2. ポリマーMEMS製造プロセス
    3. ポリマーMEMS製造プロセスの特徴
  5. ポリマーMEMSの実証試作
    1. 静電駆動マイクロアクチュエータ
    2. 静電駆動マイクロミラーデバイス
    3. 熱電型マイクロアクチュエータ
    4. 容量型加速度センサ
  6. バイオ技術への応用
    1. バイオ検査デバイス試作例紹介
  7. 信頼性試験
    1. 寿命試験
    2. 引張強度試験
  8. ポリマーMEMS応用の展望
  9. まとめ
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講師

  • 杉山 進 氏
    立命館大学 総合科学技術研究機構
    客員教授
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会場

東宝土地 株式会社 高橋ビルヂング
東京都 千代田区 神田神保町3-2
東宝土地 株式会社 高橋ビルヂングの地図
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主催

S&T出版 株式会社
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お問い合わせ

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(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

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: 46,111円 (税別) / 49,800円 (税込)
複数名
: 36,111円 (税別) / 39,000円 (税込)

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    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 82,222円(税別) / 88,800円(税込)
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