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薄膜の内部応力発生メカニズムと密着性制御およびその評価手法

薄膜の内部応力発生メカニズムと密着性制御およびその評価手法

～初心者から実務者まで学べます～
東京都 開催 会場 開催
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概要

本セミナーでは、薄膜の物性や挙動、トラブルの防止・解決、上手な密着性評価の方法・工夫、試験条件の設定・破壊モードの再現まで、複雑な「薄膜」の性質を徹底解説いたします。

開催日

  • 2014年5月26日(月) 10時30分 ～ 16時30分

受講対象者

  • 薄膜に関連する技術者、研究者、品質担当者

修得知識

  • 薄膜の基礎
  • スクラッチ試験の基礎

プログラム

　本講では、薄膜の構造、力学的性質、密着性に関連して、薄膜の内部応力や硬さのもたらす効果、その調整技術および測定技術を解説し、応用例として、薄膜の密着性評価を紹介し、密着性改善技術に言及する。
　またマイクロスクラッチ試験 (あるいはマイクロトライボ試験) の原理と実施例を解説する。初心者から実務者まで対応します。

  1. 薄膜の力学的特性
    1. 応力とひずみの関係 ～固体薄膜の力学
    2. 熱応力と真性応力
    3. 測定 ～基板変形および格子ひずみ測定
    4. 最近の薄膜X線回折技術 ～in line 測定
    5. ひずみエネルギーと結晶配向
    6. 内部応力の制御
    7. 構造欠陥と硬さ ～弾性変形と塑性変形
    8. 超微小硬さ測定
    9. 硬さと耐腐食性:ハードコーティング
  2. 薄膜の密着性
    1. 耐久性・寿命としての密着性
    2. 薄膜における損傷
    3. 各種の密着性測定法の長所・短所
    4. 故障解析からの密着性評価
    5. 故障・剥離とワイブル分布
    6. 内部応力と密着性
    7. 異種材料の密着性
    8. 製膜技術と密着性 ～特にプラズマ援用技術
  3. スクラッチ (引っ掻き) 試験とは?
    1. 定荷重および荷重増加型スクラッチ試験
    2. 剥離,摩擦力変化あるいはAE発生
    3. 試験条件と臨界荷重
    4. 臨界せん断応力
    5. 薄膜/基板の界面エネルギー
    6. スクラッチの物理と破壊力学
    7. スクラッチ試験の注意点 (結果が逆転!)
  4. マイクロスクラッチ試験
    1. 振動式スクラッチ試験の動作原理
    2. 光学薄膜とスクラッチ試験 JIS R3255
    3. スクラッチ速度による違い
    4. 針先端径による影響 ～Weibull分布
    5. 密着性試験の再現性
    6. 他の密着性試験との相関 ～臨界損傷の違い
    7. 軟質膜および粘性膜への応用
    • 質疑応答・名刺交換
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講師

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会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

5F 第3講習室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図
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主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 42,750円 (税別) / 46,170円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,300円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名同時申込みで1名分無料
    • 1名あたり定価半額の22,500円(税別) / 24,300円 (税込)
    • 2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。
    • 同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
    • 3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。
    • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
    • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
      申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。
    • 他の割引は併用できません。
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