技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

TOF-SIMSの基礎と応用、分析の実際

TOF-SIMSの基礎と応用、分析の実際

東京都 開催 会場 開催
関連するセミナー・出版物
本セミナーは終了いたしました。
セミナーの再開催を依頼する 関連するセミナー・出版物を探す

概要

本セミナーでは、TOF-SIMSの原理から測定、解析について解説し、また、様々な分野への適用事例について紹介いたします。

開催日

  • 2013年10月11日(金) 13時00分 ～ 16時30分

受講対象者

  • TOF-SIMSに関わる研究者、技術者

修得知識

  • TOF-SIMSの基礎
  • TOF-SIMSの解析の基本
  • TOF-SIMSの分析方法のポイント

プログラム

　飛行時間型二次イオン質量分析 (TOF-SIMS) は表面感度の高い表面分析手法であり、元素情報のみならず有機物の化学構造に関する情報が豊富に得られることから、その適用範囲は広い。また、近年は最表面の分析のみならず、深さ方向分析の機能も充実してきた。
　今回は、TOF-SIMSの原理から測定、解析について解説し、様々な分野への適用事例について紹介する。

  1. TOF-SIMSの概要
    1. スタティックSIMSの概念
    2. TOF-SIMSの歴史
    3. 原理と特徴
    4. 二次イオンの発生と検出感度
  2. TOF-SIMSの装置
    1. 質量分析計
    2. 一次イオン源
    3. クラスターイオンの利用
    4. エッチング用イオン銃
    5. 帯電中和銃
    6. その他の機能
  3. TOF-SIMSの測定とサンプリング
    1. サンプル取り扱いの注意点
    2. TOF-SIMSの測定
    3. 絶縁物の帯電中和法
    4. イメージングと微小部の測定
    5. 深さ方向分析
    6. 感度を向上させるために
  4. スペクトル解析の基礎
    1. TOF-SIMSスペクトルの特徴
    2. 正イオンと負イオンの特徴
    3. 高質量分解能を利用した帰属
    4. 同位体を利用した帰属
    5. 試料表面の化学状態とマトリックス効果
    6. TOF-SIMSによる定量分析
  5. TOF-SIMSによる分析事例
    1. 高分子材料表面の分析
      1. 高分子材料におけるTOF-SIMS分析の実際
      2. ポリエチレンテレフタレートの表面分析
      3. ポリプロピレン成型品の劣化分析
      4. 分子量分布の測定
      5. 気相化学修飾法を用いた官能基の分布観察
    2. ガラス材料の分析
      1. ガラス組成の分析
      2. ガラス表面の汚染分析
    3. 電子材料の分析
      1. 配線表面の分析
      2. ハードディスク表面の分析
      3. 半導体材料表面の微量成分分析
    4. 生体材料・組織の分析
      1. 毛髪の表面・断面観察
      2. バイオイメージング
    5. 深さ方向分析 (D-SIMSとしての利用)
      1. 半導体デバイスのデプスプロファイル
      2. 精密斜め切削法による有機薄膜のデプスプロファイル
      3. アルゴンガスクラスターによる有機物のデプスプロファイル
  6. TOF-SIMSの課題と今後の展開
    • 質疑応答・名刺交換
ページのトップヘ

講師

  • 萬 尚樹 氏
    株式会社 東レリサーチセンター 表面解析研究部 表面解析第1研究室
    室長
ページのトップヘ

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

5F 第4講習室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図
ページのトップヘ

主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,000円 (税別) / 39,900円 (税込)
複数名
: 31,000円 (税別) / 32,550円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名で参加の場合、1名につき 7,350円割引
  • 3名で参加の場合、1名につき 10,500円割引 (同一法人に限ります)
本セミナーは終了いたしました。
セミナーの再開催を依頼する
ページのトップヘ

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2026/4/15 フィジカルAIが生み出す半導体・ロボットを中心とした周辺市場と技術トレンド オンライン
2026/4/16 高分子表面・界面の基礎と材料設計への展開 オンライン
2026/4/17 半導体製造におけるシリコンウェーハの精密洗浄・乾燥および汚染除去技術の基礎から最新動向まで 東京都 会場・オンライン
2026/4/17 高速・高周波基板向け低誘電樹脂材料の設計と技術開発動向 オンライン
2026/4/17 有機無機ハイブリッド材料の合成、開発と応用展開 オンライン
2026/4/17 光酸発生剤の種類、選び方、使い方 オンライン
2026/4/20 加硫剤、加硫促進剤の使い方とスコーチ・ブルーム・分散性 オンライン
2026/4/20 プラスチックリサイクルの国内外の現状とリサイクル技術 オンライン
2026/4/21 副資材を利用した高分子材料の設計技術 オンライン
2026/4/21 プラスチックリサイクルの国内外の現状とリサイクル技術 オンライン
2026/4/21 半導体の技術進化と産業構造変化および今後の展望 オンライン
2026/4/23 エポキシ樹脂の耐熱性向上と機能性両立への分子デザイン設計および用途展開における最新動向 オンライン
2026/4/24 フィジカルAIが生み出す半導体・ロボットを中心とした周辺市場と技術トレンド オンライン
2026/4/28 ぬれ性のメカニズムから理論に基づいた測定・評価・利用法 オンライン
2026/4/30 ぬれ性のメカニズムから理論に基づいた測定・評価・利用法 オンライン
2026/4/30 ゴム材料・エラストマー・添加剤の分析手法と劣化解析 オンライン
2026/5/15 ウレタン材料の基礎と組成・構造解析および難溶解材料の最適な分析手法 オンライン
2026/5/19 ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と構造・物性制御 オンライン
2026/5/19 ポリウレタン樹脂原料の基礎と最新動向 オンライン
2026/5/20 ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と構造・物性制御 オンライン
ページのトップヘ

関連する出版物

発行年月
2021/5/31 重合開始剤、硬化剤、架橋剤の選び方、使い方とその事例
2021/5/31 高分子材料の劣化・変色対策
2021/4/30 建築・住宅用高分子材料の要求特性とその開発、性能評価
2021/1/29 高分子材料の絶縁破壊・劣化メカニズムとその対策
2020/11/30 高分子の延伸による分子配向・結晶化メカニズムと評価方法
2020/11/30 高分子の成分・添加剤分析
2020/10/30 ポリウレタンを上手に使うための合成・構造制御・トラブル対策及び応用技術
2020/9/30 食品容器包装の新しいニーズ、規制とその対応
2020/7/17 2020年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2020/3/31 自己修復材料、自己組織化、形状記憶材料の開発と応用事例
2020/1/31 添加剤の最適使用法
2019/12/20 高分子の表面処理・改質と接着性向上
2019/10/31 UV硬化技術の基礎と硬化不良対策
2019/7/19 2019年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2019/1/31 マテリアルズ・インフォマティクスによる材料開発と活用集
2018/11/30 エポキシ樹脂の高機能化と上手な使い方
2018/7/31 高耐熱樹脂の開発事例集
2018/4/12 自動車用プラスチック部品の開発・採用の最新動向 2018
2018/3/20 レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
2018/3/19 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書
ページのトップヘ