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プラズマプロセスにおける活性粒子の計測、モニタリングとプロセスの最適化

プラズマプロセスにおける活性粒子の計測、モニタリングとプロセスの最適化

オンライン 開催

アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2025年9月3日〜13日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2025年9月3日まで承ります。

概要

本セミナーでは、プロセスプラズマの基礎から解説し、プロセスプラズマ内における活性粒子の生成・消滅 (反応) 過程、活性粒子や荷電粒子の各種計測法の原理・実践方法、活性粒子による反応メカニズムを考慮したプロセス条件の最適化について詳解いたします。

開催日

  • 2025年8月25日(月) 13時00分17時00分

修得知識

  • プロセスプラズマの基礎的特性
  • プロセスプラズマ内における活性粒子の生成・消滅 (反応) 過程
  • 活性粒子や荷電粒子の各種計測法の原理、実践方法
  • 活性粒子による反応メカニズムを考慮したプロセス条件の最適化

プログラム

 プラズマを用いたプロセス技術は、現代社会を支える半導体デバイスや機械・電気部品の製造現場で広く利用され、近年では医療や農水産などのバイオ応用についても研究されています。気体の放電現象を利用するプラズマは、その内部において物理・化学的な作用をもたらす数多くの中性活性粒子や荷電粒子が生成され、存在しています。それら粒子の相互的な反応により高度なプラズマプロセスが実現されることから、本技術の継続的な発展や新たな革新にはそれら粒子の計測・モニタリングを通じた反応メカニズムの理解とその最適化が必要です。
 そこで本講座では、まずプラズマ内における活性粒子の生成・消滅に関わる反応過程など基礎的な理解も深めて頂きながら、それら粒子の分析に利用される各種計測法の原理と具体的な実施例について説明させて頂きます。以上を通じて、プラズマプロセス内の活性粒子の計測とモニタリングを通じた反応メカニズムの理解、さらには得られた知識を基にしたプロセス条件の最適化を検討して頂く契機となることを期待します。

  1. プラズマの特性と活性粒子の反応
    1. プラズマの基礎特性
    2. 活性粒子の生成過程
    3. 活性粒子の気相反応
    4. 活性粒子の表面反応
  2. 荷電粒子の各種計測技術の原理と特徴
    1. プローブ計測法
    2. 干渉計測法
    3. 発光・散乱分光法
    4. 質量分析法
  3. 中性活性粒子の各種計測技術の原理と特徴
    1. 発光分光法
    2. 吸収分光法
    3. 蛍光分光法
    4. 質量分析法
  4. 活性粒子の計測・モニタリングによるプロセスの最適化と制御
    1. プラズマエッチングプロセス
    2. プラズマ化学気相堆積プロセス
    3. 大気圧プラズマプロセス
    4. プラズマバイオ応用プロセス
  5. まとめ
    • 質疑応答

講師

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 160,000円(税別) / 176,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 190,000円(税別) / 209,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー

  • 「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。

ライブ配信セミナーをご希望の場合

  • セミナー資料は、郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

アーカイブ配信セミナーをご希望の場合

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2025年9月3日〜13日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は別途、送付いたします。

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