技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。
(2022年3月10日 10:00〜12:00)
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 極端紫外線リソグラフィー研究開発センターでは1996年よりEUVリソグラフィーの基盤技術開発に精力的に取り組んで来ました。これまで4つの国家プロジェクトに約20年間参画・先導し、また、多くの国内外の企業と共同研究を進めて参りました。
EUVリソグラフィー (EUVL) 技術は2020年よりスマートフォン、タブレット等のロジックデバイスの量産技術として本格的な量産技術として採用されており、EUVLの先端研究の現状、課題について解説します。また、次世代の半導体の量産に向けて多くのEUVL技術課題があり、この課題解決に向けては黎明期での開発の内容を知った上で課題可決に取り組む必要があります。このため、EUVL黎明期を解説するとともに、課題解決に向けた取り組み内容を紹介します。
一方で、我が国の経済活性化には半導体技術の進展が不可欠であり、併せて国の安全保障と密接に絡む技術です。この意味においても、半導体前半工程である半導体微細加工技術が果たす役割が未だに強い状況です。世界に於ける日本の半導体技術覇権に向けた問題点・課題についても触れたいと存じます。
(2022年3月10日 13:00〜14:30)
昨今、私たちは新たなデジタル社会を迎え入れようとしている。世の中で頻繁にその言葉を耳にするIOT、AI、Society 5.0等の発展に対し、さらなる電子デバイスの高速化、大容量化、省電力化が求められている。そのために不可欠なのがリソグラフィの微細化であり、その実現にはフォトレジスト材料の開発が必須である。
フォトレジスト材料の微細化の歴史および究極の微細化であるEUVリソグラフィ用フォトレジスト材料の開発について解説する。
(2022年3月10日 14:45〜16:15)
AI, IoT, EV,次世代ディスプレイ,スマートシティー,省エネなどSDGsを意識した活動が盛んになってきました。COVID – 19の影響からかスマートフォンやノートパソコンも活況。いまや「半導体」という言葉を「半導体不足」という言葉とともに聞かない日はありません。「産業のコメ」と呼ばれた半導体素子はいまや「産業のブレイン」と言われるまでになりました。EUVリソグラフィー登場し,半導体素子の高性能化・省エネ化が加速しています。
本講座では,EUVリソグラフィーの露光と光源について平易にお話する予定です。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/6/1 | レオロジーセミナー 2コースセット | オンライン | |
| 2026/6/1 | 微粒子分散系のレオロジー | オンライン | |
| 2026/6/2 | 先端プリント基板用エポキシ樹脂・硬化剤・硬化促進剤の基礎と評価・解析、および新技術への展開 | オンライン | |
| 2026/6/3 | 高分子の難燃化技術の体系と最近の動向 | オンライン | |
| 2026/6/4 | UV硬化樹脂の硬化不良対策と硬化状態の正しい評価技術 | オンライン | |
| 2026/6/4 | プラスチック・ゴムの表面処理技術と接着性向上のための実務ポイント | オンライン | |
| 2026/6/4 | 各種プラスチック成形品の破損トラブルと原因解析 | オンライン | |
| 2026/6/5 | ポリマーアロイ・ブレンドにおける相溶性・構造制御と高性能化 | オンライン | |
| 2026/6/5 | プラスチック成形部材の劣化、トラブル対策と品質管理 | オンライン | |
| 2026/6/8 | 各種プラスチック成形品の破損トラブルと原因解析 | オンライン | |
| 2026/6/8 | カルボキシ基の基礎と反応性、高分子材料開発への活用 | オンライン | |
| 2026/6/8 | ポリマーアロイ・ブレンドにおける相溶性・構造制御と高性能化 | オンライン | |
| 2026/6/9 | ポリマー材料 (樹脂・ゴム・高分子) におけるブリードアウト&ブルーム現象の発生メカニズムの解明と防止・対策処方 | オンライン | |
| 2026/6/9 | 高分子材料および高分子基複合材料の粘弾性の基礎と評価 | オンライン | |
| 2026/6/9 | ポリマーアロイにおける相溶化剤の使い方、分散条件の設計、評価解析 | オンライン | |
| 2026/6/9 | タイ分子の基礎と分子制御、高次構造制御、評価と応用 | オンライン | |
| 2026/6/10 | 電気絶縁材料の劣化メカニズムと部分放電計測ならびに寿命評価 | オンライン | |
| 2026/6/10 | 安定性・凝集抑制を目指したタンパク質溶液製剤の合理的設計・添加剤選定と構造安定性の評価 | オンライン | |
| 2026/6/11 | 射出成形の原理に基づく成形不良の理解と対策 | 大阪府 | 会場 |
| 2026/6/12 | UV硬化樹脂の活用におけるトラブル・不具合対策 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2024/7/31 | ポリウレタンの材料設計、環境負荷低減と応用事例 |
| 2024/7/29 | サステナブルなプラスチックの技術と展望 |
| 2024/7/22 | 世界のレトルトフィルム・レトルトパウチの実態と将来展望 2024-2026 |
| 2024/7/22 | 世界のレトルトフィルム・レトルトパウチの実態と将来展望 2024-2026 (書籍版 + CD版) |
| 2024/7/17 | 世界のリサイクルPET 最新業界レポート |
| 2024/6/28 | ハイドロゲルの特性と作製および医療材料への応用 |
| 2024/5/30 | PETボトルの最新リサイクル技術動向 |
| 2024/2/29 | プラスチックのリサイクルと再生材の改質技術 |
| 2023/10/31 | エポキシ樹脂の配合設計と高機能化 |
| 2023/7/31 | 熱可塑性エラストマーの特性と選定技術 |
| 2023/7/14 | リサイクル材・バイオマス複合プラスチックの技術と仕組 |
| 2023/3/31 | バイオマス材料の開発と応用 |
| 2023/1/31 | 液晶ポリマー (LCP) の物性と成形技術および高性能化 |
| 2023/1/6 | バイオプラスチックの高機能化 |
| 2022/10/5 | 世界のプラスチックリサイクル 最新業界レポート |
| 2022/8/31 | ポリイミドの高機能設計と応用技術 |
| 2022/5/31 | 樹脂/フィラー複合材料の界面制御と評価 |
| 2022/5/31 | 自動車マルチマテリアルに向けた樹脂複合材料の開発 |
| 2022/5/30 | 世界のバイオプラスチック・微生物ポリマー 最新業界レポート |
| 2021/12/24 | 動的粘弾性測定とそのデータ解釈事例 |