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X線光電子分光法 (XPS、ESCA) の原理と測定条件の設定、データ解析法

X線光電子分光法 (XPS、ESCA) の原理と測定条件の設定、データ解析法

オンライン 開催

視聴期間は2024年12月16日〜26日を予定しております。
お申し込みは2024年12月16日まで承ります。

概要

本セミナーでは、XPSと表面分析の基礎から解説し、試料の取り扱い、表面汚染を避けるテクニック、データ解釈などXPSの長所・短所、分析のコツや注意点まで実践的な分析ノウハウを解説いたします。

開催日

  • 2024年12月16日(月) 12時30分 2024年12月26日(木) 16時30分

受講対象者

  • XPS (ESCA) 装置を使用する技術者、研究者、開発者
  • これからXPS (ESCA) 装置を使用する担当者
  • XPS (ESCA) データを解釈する必要がある方
  • 表面分析による解析を立案する必要がある方

修得知識

  • 表面分析の基礎知識
  • X線光電子分光法 (XPS、ESCA) の原理
  • X線光電子分光法 (XPS、ESCA) の分析例と測定条件、データ解析例

プログラム

 表面・界面は、あらゆる固体材料・デバイスにおいて、機械的接合、電気的接合、変色、防食をはじめとする様々な機能に関与している。特にX線光電子分光法 (XPS、ESCAともいう) は、固体表面数nm (数十原子層、分子層) の組成と化学状態を調べることができ、最表面および表面近傍を詳しく調べることができる手法であるが、試料の取り扱いやデータの解釈に不用意な取り扱いができない点で注意が必要である。
 本講座では実践的なXPS分析のノウハウを述べるとともに、材料の分析事例を通じて、表面分析の利用のコツや考え方を明らかにする。

  1. X線光電子分光法 (XPS,ESCA) と表面分析の基礎
    1. 表面数原子・数分子層の重要性
    2. なぜ極表面の分析や極薄膜の分析が可能になるのか?
    3. 表面分析法の比較
    4. 他の分析手法と比較した特徴
  2. 表面分析をはじめる前に
    1. 試料の観察
    2. 表面分析のための試料の取り扱い
    3. 分析時の表面汚染を避けるテクニック
    4. 粉末材料
  3. X線光電子分光法 (XPS,ESCA) 分析の原理
    1. XPS分析の原理
    2. XPS分析の特徴
    3. チャージアップへの対応
    4. ワイドスペクトル、元素の同定
    5. ナロースペクトル、定量と化学状態分析
    6. アルゴンイオンによる深さ方向分析
    7. GCIB (ガスクラスターイオン) による深さ方向分析
  4. データ処理
    1. 定量計算
    2. 定量範囲の決定
    3. 化学状態の推定 (カーブフィッティング)
  5. 分析条件とデータ処理の実例
    1. 金属箔の分析
    2. 有機フイルムの分析
    3. 電池負極の分析例
    4. 半導体表面誘電体膜の分析例
  6. 最新の測定技術
    1. マイクロXPS分析
    2. 高エネルギーXPS
    3. 紫外光電子分光 (UPS) と低エネルギー逆光電子分光 (LEIPS)
    4. オージェ電子分光法 (AES) との組み合わせ
    • 質疑応答

講師

  • 眞田 則明
    アルバック・ファイ株式会社
    分析技術顧問

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

アーカイブ配信セミナー

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2024年12月16日〜26日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は別途、送付いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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