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レジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策

レジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策

～半導体の微細化を支えるリソグラフィと材料～
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視聴期間は2022年12月12日〜23日を予定しております。
お申し込みは2022年12月19日まで承ります。

概要

本セミナーでは、レジストの基礎から、レジスト・微細加工用材料のトラブル対策についてその要求特性、課題をふまえて解説いたします。

開催日

  • 2022年12月19日(月) 10時30分 ～ 2022年12月23日(金) 16時30分

修得知識

  • レジスト・微細加工用材料の基礎
  • リソグラフィの基礎
  • レジスト・微細加工用材料のトラブル対策
  • レジスト・微細加工用材料の最新技術・ビジネス動向

プログラム

　メモリー、マイクロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているArF液浸、ダブル/マルチパターニングに加えて、待ち望まれていたEUVが用いられはじめている。レジスト・微細加工用材料はこのようなリソグラフィの変革に対応して進展し続けている。
　本講演では、リソグラフィの基礎を解説した後、デバイスの微細化を支えるレジストの基礎を述べ、レジスト・微細加工用材料のトラブル対策をその要求特性、課題をふまえて解説する。最後に本年の3nmロジックノード以降の今後のレジスト・微細加工用材料の技術展望、市場動向についてまとめる。

  1. リソグラフィの基礎
    1. 露光
    2. 照明方法
    3. マスク
  2. レジストの基礎
    1. 溶解阻害型レジスト
      1. g線レジスト
      2. i線レジスト
      3. レジスト組成材料の詳細とキーポイント
    2. 化学増幅型レジスト
      1. KrFレジスト
      2. ArFレジスト
      3. レジスト組成材料の詳細とキーポイント
  3. レジスト・微細加工用材料のトラブル対策
    1. レジストパターン形成不良への対応
      1. パターン倒れ
      2. パターン密着性不良
      3. パターン形状不良
      4. チップ内のパターン均一性不良
    2. 化学増幅型レジストのトラブル対策
      1. レジスト材料の安定性
      2. パターン形成時の基板からの影響
      3. パターン形成時の大気からの影響
    3. ArF液浸リソグラフィ用レジストのトラブル対策
    4. ダブルパターニング、マルチパターニングのトラブル対策
      1. リソーエッチ (LE) プロセス用材料
      2. セルフアラインド (SA) プロセス用材料
    5. EUVレジストの課題と対策
      1. 感度/解像度/ラフネスのトレードオフ
      2. ランダム欠陥 (Stochastic Effects)
    6. 自己組織化 (DSA) リソグラフィのトラブル対策
      1. グラフォエピタキシー用材料
      2. ケミカルエピタキシー用材料
    7. ナノインプリントリソグラフィのトラブル対策
  4. レジスト・微細加工用材料の技術展望、市場動向
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主催

株式会社 R&D支援センター
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

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案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。

「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)

アーカイブ配信セミナーをご希望の場合

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
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  • 視聴期間は2022年12月12日〜23日を予定しております。ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
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