技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2023/4/13 | 塗料・塗膜における不良・欠陥の発生メカニズムとその対策 | オンライン | |
2023/4/14 | シランカップリング剤を効果的に使いこなすためのポイント | オンライン | |
2023/4/17 | 表面分析・接着分析をしっかり学ぶ2日間講座 | オンライン | |
2023/4/17 | 半導体めっきの基礎とめっき技術の最新技術動向 | オンライン | |
2023/4/17 | 表面・界面の考え方と分析の基礎と実践応用 | オンライン | |
2023/4/18 | トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎と耐摩耗対策、摩擦制御法 | オンライン | |
2023/4/18 | 副資材による機能性高分子の材料設計技術 | オンライン | |
2023/4/19 | フィラーの上手な使い方 | オンライン | |
2023/4/24 | プラスチック、フィルムにおける応力/ひずみ発生のメカニズムとその評価、応用 | オンライン | |
2023/4/24 | 光学薄膜技術の総合知識と最新動向 | オンライン | |
2023/4/25 | めっき膜の密着性改善・剥離対策の考え方と分析・解析手法 | オンライン | |
2023/4/25 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2023/4/25 | シランカップリング剤の反応メカニズム、使い方、密着性や物性の評価 | オンライン | |
2023/4/26 | 接着制御・メカニズム解析の考え方と分析評価法 | オンライン | |
2023/4/26 | エポキシ樹脂のフィルム化技術と物性制御、高機能化と応用展開 | オンライン | |
2023/4/27 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2023/4/27 | 環境対応型塗料と新技術へのアプローチ | オンライン | |
2023/4/27 | 表面張力・界面張力、関連する現象、時々見受けられるウソの説明と、自発的パターン形成による超撥水性表面の作製 | オンライン | |
2023/4/28 | 塗膜の濡れ・付着・密着コントロールとトラブル対策 | オンライン | |
2023/5/9 | エポキシ樹脂のフィルム化技術と物性制御、高機能化と応用展開 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 + ebook版) |
2021/3/8 | プラズマ技術 |
2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |